[发明专利]半导体器件有效
申请号: | 201580060567.0 | 申请日: | 2015-10-23 |
公开(公告)号: | CN107197628B | 公开(公告)日: | 2021-05-14 |
发明(设计)人: | 横山孝司;时任俊作;长谷川宏;山岸肇 | 申请(专利权)人: | 索尼公司 |
主分类号: | H01L21/8244 | 分类号: | H01L21/8244;G11C11/15;H01L21/8246;H01L27/105;H01L27/11;H01L29/82;H01L43/08;H01L45/00;H01L49/00 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 曹正建;陈桂香 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体器件 | ||
1.一种半导体器件,其包括:
触发器电路,其具有环形结构,在所述环形结构中依次连接有第一反相器电路、第一连接线、第二反相器电路和第二连接线,所述第一连接线包括第一节点,所述第二连接线包括第二节点;
控制线;
第一P型晶体管,其设置在所述第一节点与所述控制线之间;
第一非易失性存储元件,其设置在所述第一节点与所述控制线之间,并与所述第一P型晶体管串联地连接;
第二P型晶体管,其设置在所述第二节点与所述控制线之间;以及
第二非易失性存储元件,其设置在所述第二节点与所述控制线之间,并与所述第二P型晶体管串联地连接,其中,
所述第一非易失性存储元件是包括从靠近所述控制线的位置开始依次布置的第一钉扎层、第一隧道势垒层和第一自由层的第一磁隧道结元件,或者是包括从靠近所述控制线的位置开始依次布置的第一电极层、第一绝缘层和第一离子层的第一电阻变化元件,且
所述第二非易失性存储元件是包括从靠近所述控制线的位置开始依次布置的第二钉扎层、第二隧道势垒层和第二自由层的第二磁隧道结元件,或者是包括从靠近所述控制线的位置开始依次布置的第二电极层、第二绝缘层和第二离子层的第二电阻变化元件,
其中,所述第一反相器电路包括第三P型晶体管,且所述第二反相器电路包括第四P型晶体管,
所述第一P型晶体管至所述第四P型晶体管分别包括第一栅电极至第四栅电极,所述第一栅电极至所述第四栅电极均在第一方向上延伸,并在与所述第一方向正交的第二方向上排列布置,
所述第一栅电极至所述第四栅电极布置成在所述第二方向上位于所述第一非易失性存储元件与所述第二非易失性存储元件之间。
2.如权利要求1所述的半导体器件,其中,
所述第一非易失性存储元件位于所述第一P型晶体管与所述控制线之间并设置在位于包括所述第一P型晶体管的第一层级上方的第二层级中,且所述第一非易失性存储元件是包括从靠近所述第一层级的位置开始依次堆叠的所述第一自由层、所述第一隧道势垒层和所述第一钉扎层的所述第一磁隧道结元件,或者是包括从靠近所述第一层级的位置开始依次堆叠的所述第一离子层、所述第一绝缘层和所述第一电极层的所述第一电阻变化元件,且
所述第二非易失性存储元件位于所述第二P型晶体管与所述控制线之间并设置在位于包括所述第二P型晶体管的所述第一层级上方的所述第二层级中,且所述第二非易失性存储元件是包括从靠近所述第一层级的位置开始依次堆叠的所述第二自由层、所述第二隧道势垒层和所述第二钉扎层的所述第二磁隧道结元件,或者是包括从靠近所述第一层级的位置开始依次堆叠的所述第二离子层、所述第二绝缘层和所述第二电极层的所述第二电阻变化元件。
3.如权利要求2所述的半导体器件,其中,
所述第一P型晶体管具有分别与所述第一节点和所述第一非易失性存储元件连接的一对第一扩散区,且
所述第二P型晶体管具有分别与所述第二节点和所述第二非易失性存储元件连接的一对第二扩散区。
4.如权利要求1所述的半导体器件,其中,
所述第一非易失性存储元件位于所述第一P型晶体管与所述第一节点之间并设置在位于包括所述第一P型晶体管的第一层级上方的第二层级中,且所述第一非易失性存储元件是包括从靠近所述第一层级的位置开始依次堆叠的所述第一钉扎层、所述第一隧道势垒层和所述第一自由层的所述第一磁隧道结元件,或者是包括从靠近所述第一层级的位置开始依次堆叠的所述第一电极层、所述第一绝缘层和所述第一离子层的所述第一电阻变化元件,且
所述第二非易失性存储元件位于所述第二P型晶体管与所述第二节点之间并设置在位于包括所述第二P型晶体管的所述第一层级上方的所述第二层级中,且所述第二非易失性存储元件是包括从靠近所述第一层级的位置开始依次堆叠的所述第二钉扎层、所述第二隧道势垒层和所述第二自由层的所述第二磁隧道结元件,或者是包括从靠近所述第一层级的位置开始依次堆叠的所述第二电极层、所述第二绝缘层和所述第二离子层的所述第二电阻变化元件。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造