[发明专利]环境受控的涂层系统

说明书

根据本教导的封闭涂层系统的实施例能够用于在宽范围的技术领域中制造各种设备和装置的基板图案化区域涂层，例如但不限于，OLED显示器、OLED照明装置、有机光伏装置、钙钛矿太阳能电池、以及有机半导体电路。本教导的封闭和环境受控涂层系统能够提供多个优点，例如，1）省去一定范围的真空处理操作，这种基于涂层的制造可以在大气压力下执行，2）受控图案化涂层消除了材料浪费以及消除了实现有机层的图案化通常需要的附加处理，3）用本教导的封闭涂层设备的各个实施例来图案化涂层所使用的各种制剂可以具有宽范围的物理属性，例如粘度和表面张力。

相关案件的交叉引用

本申请要求2014年11月26日提交的美国临时申请62/085,211的权益，所述美国临时申请通过引用全文引入本文。

技术领域

根据本教导的封闭涂层系统的实施例能够用于在宽范围的技术领域中制造各种装置和设备的基板图案化区域涂层，例如但不限于，OLED显示器、OLED照明装置、有机光伏装置、钙钛矿太阳能电池、以及有机半导体电路。

背景技术

例如，通过非限制性示例的方式，对于RGB OLED显示器来说，虽然主要用于蜂窝电话的小屏幕应用的OLED显示器的展现已经用于强调技术的潜能，但是对于RGB OLED在以高成品率（high yield）跨越一定范围的基板幅面对大批量制造进行扩展（或缩放，scaling）方面仍存在挑战。关于RGB OLED显示器技术的幅面扩展，Gen 5.5（或5.5代）基板具有大约130cm X 150cm的尺寸，并且能够生产大约八块26平板显示器。相比之下，较大幅面的基板能够包括使用Gen 7.5（或7.5代）和Gen 8.5（或8.5代）的母玻璃有源区域尺寸。Gen 7.5母玻璃具有大约195cm x 225cm的尺寸，并且能够被切割成每个基板八块42或六块47的平板显示器。用于Gen 8.5中的母玻璃为大约220cm x 250cm，并且能够被切割成每个基板六块55''或八块46''的平板显示器。在将RGB OLED显示器制造扩展至较大幅面中仍然存在的挑战的一个迹象在于：在大于Gen 5.5基板的基板上以高成品率大批量制造RGB OLED显示器已证明是在很大程度上具有挑战性的。

原则上，包括RGB OLED堆叠体结构的各种材料能够易被氧化和其它化学过程损坏。此外，除非包含这种RGB OLED材料的有源区域（active area，或活性区域）能够被有效地气密地密封，RGB OLED装置或设备有源区域中的各种材料易被各种反应性气体物种（例如但不限于，水蒸汽、氧气、臭氧、有机溶剂蒸汽和类似物）降级。关于在处理期间的降级的类似考虑在制造其它类型的电子装置（例如，OLED照明装置、有机光伏装置、钙钛矿太阳能电池、以及有机半导体电路）时是明显的。根据本教导，环境受控的涂层系统的各个实施例能够配置用于在各种电子装置上涂层有机膜层。

然而，以能够针对各种装置和装置尺寸进行缩放并且能够在惰性、基本上低颗粒的过程环境中完成的方式收容涂层系统可能存在多种工程挑战。例如，用于高吞吐量的大幅面基板涂层（例如基板等于用于各种OLED装置的Gen 7.5和Gen 8.5基板的涂层）的制造工具需要相当大的设施。因此，将大的设施维持在惰性气氛下、需要气体净化以去除反应性大气物种（例如，通过非限制性示例，水蒸汽、臭氧和氧气）及有机溶剂蒸汽以及维持基本上低颗粒过程环境已证明是显著具有挑战性的。

因此，在以高成品率跨越一定范围的装置尺寸扩展用于制造各种电子装置和设备的大批量涂层系统方面仍存在挑战。因此，需要在惰性、基本上低颗粒的环境中收容环境受控的封闭涂层系统的各种实施例，其能够被容易地扩展以提供用于涂层各种电子装置和设备，其可具有各种有源区域纵横比和尺寸以及各种装置和设备材料。此外，本教导的各种封闭环境受控的涂层系统能够提供在处理期间从外部便于接近涂层系统且便于接近内部，用于在最低停机时间的情况下进行维护。

附图说明

通过参考附图将获得对本公开的特征和优点的更好的理解，这些附图意在说明而非限制本教导。