[发明专利]弹性波装置有效
申请号: | 201580065140.X | 申请日: | 2015-11-11 |
公开(公告)号: | CN107005225B | 公开(公告)日: | 2021-06-04 |
发明(设计)人: | 高峰裕一;山根毅 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H03H9/145 | 分类号: | H03H9/145;H03H9/64 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 赵琳琳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 弹性 装置 | ||
1.一种弹性波装置,具有压电膜,其中,
所述弹性波装置具备:
高音速构件,所传播的体波音速与在所述压电膜中传播的主模的弹性波音速相比为高速;
所述压电膜,直接或间接地层叠在所述高音速构件上;
第一导电膜,设置在所述压电膜上;以及
第二导电膜,设置在所述压电膜上以及所述第一导电膜的至少一部分上,
在所述压电膜上,设置有具有电极指和汇流条的多个IDT电极,由所述第一导电膜构成所述多个IDT电极的至少所述电极指,
在俯视的情况下,对所述多个IDT电极之间进行连接的连接布线的至少一部分是单层,该单层仅由所述第二导电膜构成。
2.根据权利要求1所述的弹性波装置,其中,
在所述高音速构件上直接层叠有所述压电膜。
3.根据权利要求1所述的弹性波装置,其中,
在所述高音速构件与所述压电膜之间形成有密接层。
4.根据权利要求1所述的弹性波装置,其中,
所述弹性波装置还具备:低音速膜,层叠在所述高音速构件上,所传播的体波音速与在所述压电膜中传播的主模的弹性波音速相比为低速,
所述压电膜隔着所述低音速膜间接地层叠在所述高音速构件上。
5.根据权利要求1~4中的任一项所述的弹性波装置,其中,
所述连接布线全部仅由所述第二导电膜构成。
6.根据权利要求1~4中的任一项所述的弹性波装置,其中,
所述连接布线具有由所述第一导电膜构成的第一布线部分,所述第一布线部分对所述IDT电极之间进行连接,
所述弹性波装置还具备:绝缘膜,设置在所述第一布线部分上,
所述第二导电膜的一部分设置在所述绝缘膜上。
7.根据权利要求1~4中的任一项所述的弹性波装置,其中,
由所述第一导电膜构成所述电极指以及所述汇流条。
8.根据权利要求1~4中的任一项所述的弹性波装置,其中,
由所述第一导电膜构成所述电极指,所述汇流条由所述第二导电膜构成,且所述汇流条与所述电极指的端部重叠。
9.根据权利要求4所述的弹性波装置,其中,
所述高音速构件由高音速膜构成,
所述弹性波装置还具备:支承基板,设置在所述高音速膜的设置有所述低音速膜的面的相反侧的面。
10.根据权利要求1~4中的任一项所述的弹性波装置,其中,
所述高音速构件由高音速基板构成。
11.根据权利要求1~4中的任一项所述的弹性波装置,其中,
所述弹性波装置是具有串联臂谐振器以及并联臂谐振器的梯型滤波器,
所述串联臂谐振器以及所述并联臂谐振器中的至少一方具有所述多个IDT电极。
12.根据权利要求1~4中的任一项所述的弹性波装置,其中,
所述弹性波装置是纵向耦合谐振器型弹性波滤波器。
13.一种弹性波装置,是具有第一带通型滤波器以及通带与所述第一带通型滤波器不同的第二带通型滤波器的双工器,其中,
所述第一带通型滤波器以及所述第二带通型滤波器中的至少一方为权利要求1~12所述的弹性波装置。
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