[发明专利]弹性波装置

说明书

本发明提供一种在通带内难以产生脉动的弹性波装置。弹性波装置(1)是具有压电膜(6)的弹性波装置(1)，具备：高音速构件，所传播的体波音速与在压电膜(6)中传播的主模的弹性波音速相比为高速；压电膜(6)，直接或间接地层叠在高音速构件上；第一导电膜，设置在压电膜(6)上；以及第二导电膜，设置在压电膜(6)上以及第一导电膜的至少一部分上。在压电膜(6)上设置有具有电极指和汇流条的多个IDT电极(8)，由第一导电膜构成多个IDT电极(8)的至少电极指，由第二导电膜构成对多个IDT电极(8)之间进行连接的连接布线的至少一部分。

技术领域

本发明涉及弹性波装置。

背景技术

以往，弹性波装置广泛用于便携式电话机等。

例如，在下述的专利文献1记载的弹性波滤波器具有依次层叠了高音速膜、由绝缘体构成的低音速膜以及压电膜的层叠体。在压电膜上，设置有IDT电极。

另外，在高音速膜中传播的体波音速与在压电膜中传播的主模的弹性波音速相比为高速。在低音速膜中传播的体波音速与在压电膜中传播的主模的弹性波音速相比为低速。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2012/086639号

发明内容

发明要解决的课题

但是，在专利文献1记载的弹性波滤波器中，压电膜的厚度薄，进而在压电膜下设置有由绝缘体构成的低音速膜，因此在压电膜上形成IDT电极的工序中，电荷会滞留，有时会在IDT电极的电极指与汇流条之间等产生浪涌击穿。因此，有时会在弹性波滤波器的通带内产生脉动。脉动的产生频率、大小也往往存在偏差。

本发明的目的在于，提供一种在通带内难以产生脉动的弹性波装置。

用于解决课题的技术方案

本发明涉及的弹性波装置是具有压电膜的弹性波装置，其具备：高音速构件，所传播的体波音速与在所述压电膜中传播的主模的弹性波音速相比为高速；所述压电膜，直接或间接地层叠在所述高音速构件上；第一导电膜，设置在所述压电膜上；以及第二导电膜，设置在所述压电膜上以及所述第一导电膜的至少一部分上，在所述压电膜上，设置有具有电极指和汇流条的多个IDT电极，由所述第一导电膜构成所述多个IDT电极的至少所述电极指，由所述第二导电膜构成对所述多个IDT电极之间进行连接的连接布线的至少一部分。

在本发明涉及的弹性波装置的某个特定的局面中，所述压电膜直接层叠在所述高音速构件上。

在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，在所述高音速构件与所述压电膜之间形成有密接层。在该情况下，能够提高高音速构件与压电膜的密接性。

在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，还具备低音速膜，所述低音速膜层叠在所述高音速构件上，所传播的体波音速与在所述压电膜中传播的主模的弹性波音速相比为低速，所述压电膜隔着所述低音速膜间接地层叠在所述高音速构件上。

在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，所述连接布线全部由所述第二导电膜构成。在该情况下，能够减小第一导电膜的面积。由此，能够使得难以产生IDT电极的浪涌击穿，从而能够使得在通带内难以产生脉动。

在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，所述连接布线具有由所述第一导电膜构成的第一布线部分，所述第一布线部分对所述IDT电极之间进行连接，所述弹性波装置还具备设置在所述第一布线部分上的绝缘膜，所述第二导电膜的一部分设置在所述绝缘膜上。在该情况下，能够构成隔着绝缘膜层叠了第一布线部分与第二导电膜的一部分的立体布线。由此，能够使弹性波装置变得小型。