[发明专利]正型感光性树脂组合物有效
申请号: | 201580065289.8 | 申请日: | 2015-12-01 |
公开(公告)号: | CN107003607B | 公开(公告)日: | 2021-05-28 |
发明(设计)人: | 竹田佳代;畑中真 | 申请(专利权)人: | 日产化学工业株式会社 |
主分类号: | G03F7/023 | 分类号: | G03F7/023;C08F220/06;G03F7/004;G03F7/075;H01L21/027;H01L51/50;H05B33/22 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 孙丽梅;段承恩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 | ||
1.一种正型感光性树脂组合物,含有下述A成分、B成分、C成分和D溶剂,
A成分:将下述A1~A4共聚而得的碱溶性丙烯酸系共聚物,
A1: 不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐,A2: 具有酚性羟基和聚合性不饱和基团的单体,A3: 具有羟基烷基和聚合性不饱和基团的单体,A4: N取代马来酰亚胺化合物;
B成分:1,2-醌重氮化合物,
C成分:交联剂,
D溶剂,
相对于100质量份A成分,B成分为5~100质量份。
2.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物,A2具有酚性羟基和聚合性不饱和基团的单体是(甲基)丙烯酸对羟基苯基酯。
3.根据权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物,作为A成分的碱溶性丙烯酸系聚合物的数均分子量以聚苯乙烯换算计为2,000~30,000。
4.根据权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物,其特征在于,相对于100质量份A成分,C成分为5~50质量份。
5.根据权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物,其还含有相对于100质量份A成分为0.01~1.0质量份的表面活性剂作为E成分。
6.根据权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物,其还含有相对于100质量份A成分为0.1~20质量份的密合促进剂作为F成分。
7.一种固化膜,是将权利要求1~6中任一项所述的正型感光性树脂组合物固化而成的。
8.一种显示元件,具有权利要求7所述的固化膜。
9.一种显示元件,具有权利要求7所述的固化膜作为显示器用阵列平坦化膜。
10.一种显示元件,具有权利要求7所述的固化膜作为层间绝缘膜。
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