[发明专利]正型感光性树脂组合物

说明书

本发明的课题是提供下述正型感光性树脂组合物：其能够在维持显影时的密合性的状态下以高灵敏度进行图案形成，能够形成图案内残渣少的固化膜。本发明的解决方法是含有下述(A)成分、(B)成分、(C)成分和(D)溶剂的正型感光性树脂组合物。(A)成分：使下述(A1)～(A4)共聚而得的碱溶性丙烯酸系共聚物，(A1)不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐，(A2)具有酚性羟基和聚合性不饱和基团的单体，(A3)具有羟基烷基和聚合性不饱和基团的单体，(A4)N取代马来酰亚胺化合物；(B)成分：1,2‑醌重氮化合物，(C)成分：交联剂，(D)溶剂。

技术领域

本发明涉及正型感光性树脂组合物和由其获得的固化膜。更详细而言，本发明涉及适合显示器材料用途的正型感光性树脂组合物及其固化膜、以及使用该固化膜的各种材料。

背景技术

一般而言，在薄膜晶体管(TFT)型液晶显示元件、有机EL(electroluminescent，电致发光)元件等显示器元件中，设置有图案形成了的电极保护膜、平坦化膜、绝缘膜等。作为形成这些膜的材料，感光性树脂组合物中，具有用于获得必要的图案形状的工序数少、而且具有充分的平坦性这样的特征的感光性树脂组合物一直以来被广泛地使用。

而且，对上述这些膜要求下述各种特性：耐热性、耐溶剂性、长时间烧成耐性、金属溅射耐性等工艺耐性优异，与基底的密合性良好，具有能够在与使用目的对应的各种各样的工艺条件下形成图案的宽的工艺裕量，高灵敏度且高透明性，以及显影后的膜不均匀少等。因此，从该要求特性的观点出发，迄今为止，作为上述的感光性树脂组合物，通用包含萘醌重氮化合物的树脂。

提出了：这些材料通过添加环氧交联剂、或者使丙烯酸系树脂中含有羧基和环氧基，从而使所形成的图案热交联并固化(专利文献1和2)。然而，在使用这样的树脂的情况下，不能获得充分的灵敏度，导致显示器制造时的生产量下降。此外，后烘烤时的烘烤温度引起图案形状容易发生变化，需要精密的温度控制。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-103937号公报

专利文献2：日本特开平4-352101号公报

发明内容

发明所要解决的课题

本发明是鉴于上述的情况而提出的，本发明提供下述正型感光性树脂组合物：其能够在维持显影时的密合性的状态下以高灵敏度进行图案形成，能够形成图案内残渣少的固化膜。

用于解决课题的方法

本发明者为了解决上述课题而进行了深入研究，结果发现了本发明。即，本发明涉及下述内容。

1.一种正型感光性树脂组合物，含有下述(A)成分、(B)成分、(C)成分和(D)溶剂，

(A)成分：将下述(A1)～(A4)共聚而得的碱溶性丙烯酸系共聚物，

(A1)不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐，(A2)具有酚性羟基和聚合性不饱和基团的单体，(A3)具有羟基烷基和聚合性不饱和基团的单体，(A4)N取代马来酰亚胺化合物；

(B)成分：1,2-醌重氮化合物，

(C)成分：交联剂，

(D)溶剂。

2.根据上述1所述的正型感光性树脂组合物，(A2)具有酚性羟基和聚合性不饱和基团的单体是(甲基)丙烯酸对羟基苯基酯。

3.根据上述1或2所述的正型感光性树脂组合物，(A)成分的碱溶性丙烯酸系聚合物的数均分子量以聚苯乙烯换算计为2,000～30,000。

4.根据上述1～3所述的正型感光性树脂组合物，其特征在于，相对于100质量份(A)成分，(B)成分为5～100质量份。