[发明专利]脆性衬底的分断方法

权利要求书

1.一种脆性衬底的分断方法，包含：

准备脆性衬底的步骤，所述脆性衬底具有第1面及与所述第1面相反的第2面，且具有垂直于所述第1面的厚度方向；及

通过一面将刀尖向所述脆性衬底的第1面上按压，一面使所述刀尖在所述第1面上移动而在所述脆性衬底的所述第1面上产生塑性变形，由此形成沟槽线的步骤；且形成所述沟槽线的步骤以能够获得所述脆性衬底在所述沟槽线的正下方处在与所述沟槽线交叉的方向上连续相连的状态即无裂纹状态的方式进行，且形成所述沟槽线的步骤包含：

形成作为沟槽线的一部分的低负荷区间的步骤；及

形成作为沟槽线的一部分的高负荷区间的步骤；且在形成所述高负荷区间的步骤中对所述刀尖施加的负荷，高于在形成所述低负荷区间的步骤使用的负荷，该脆性衬底的分断方法进而包含：

通过使所述厚度方向的所述脆性衬底的裂纹沿所述沟槽线仅在所述沟槽线中的所述高负荷区间伸展，而沿所述沟槽线的一部分形成裂纹线的步骤；及

在形成所述裂纹线的步骤后，沿所述沟槽线分断所述脆性衬底的步骤；且分断所述脆性衬底的步骤包含如下步骤，即，通过对所述脆性衬底施加应力而使裂纹以所述裂纹线为起点沿所述低负荷区间伸展。

2.根据权利要求1所述的脆性衬底的分断方法，其中形成所述裂纹线的步骤包含如下步骤，即，伴随着在所述脆性衬底的所述厚度方向渗透的裂纹，而在所述脆性衬底的所述第1面上形成交叉于所述高负荷区间的辅助线。

3.根据权利要求2所述的脆性衬底的分断方法，其中形成所述裂纹线的步骤包含沿所述辅助线分离所述脆性衬底的步骤。

4.根据权利要求1所述的脆性衬底的分断方法，其进而包含在所述脆性衬底的所述第2面上形成辅助线的步骤；且所述辅助线在平面布局中与所述高负荷区间交叉；且

形成所述裂纹线的步骤包含沿所述辅助线分离所述脆性衬底的步骤。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的脆性衬底的分断方法，其进而包含如下步骤，即，在形成所述沟槽线的步骤后，通过一面将刀尖向所述脆性衬底的第1面上按压，一面使所述刀尖在所述脆性衬底的所述第1面上移动而在所述脆性衬底的所述第1面上产生塑性变形，由此在所述第1面上形成与所述沟槽线的所述低负荷区间交叉的交叉沟槽线；且形成所述交叉沟槽线的步骤是以能够获得所述脆性衬底在所述交叉沟槽线的正下方处在与所述交叉沟槽线交叉的方向上连续相连的状态即无裂纹状态的方式进行；且

该脆性衬底的分断方法进而包含如下步骤，即，沿所述交叉沟槽线形成伴随着在所述脆性衬底的所述厚度方向上渗透的裂纹的裂纹线。

6.根据权利要求1所述的脆性衬底的分断方法，其进而包含如下步骤，即，在形成所述沟槽线的步骤前，通过一面利用施加负荷而将刀尖向所述脆性衬底的第1面上按压，一面使所述刀尖在所述第1面上移动而在所述脆性衬底的所述第1面上产生塑性变形，由此在所述第1面上形成与所述沟槽线的所述高负荷区间交叉的交叉沟槽线；且形成所述交叉沟槽线的步骤是以能够获得所述脆性衬底在所述交叉沟槽线的正下方处在与所述交叉沟槽线交叉的方向上连续相连的状态即无裂纹状态的方式进行；且

形成所述裂纹线的步骤是通过如下方式进行，即，使裂纹沿所述交叉沟槽线伸展而分离所述脆性衬底。

7.根据权利要求1所述的脆性衬底的分断方法，其中在进行使所述裂纹伸展的步骤时，同时进行形成所述低负荷区间的步骤，由此，延长所述低负荷区间。