[发明专利]脆性衬底的分断方法

说明书

通过使刀尖(51)在上表面(SF1)上移动而产生塑性变形，由此形成沟槽线(TL)。形成沟槽线(TL)的步骤是以能够获得无裂纹状态的方式进行。形成沟槽线(TL)的步骤包含形成低负荷区间(LR)及高负荷区间(HR)的步骤。在形成高负荷区间(HR)的步骤中对刀尖(51)施加的负荷，高于在形成低负荷区间(LR)的步骤使用的负荷。通过使裂纹仅在沟槽线(TL)中高负荷区间(HR)伸展，而沿沟槽线(TL)的一部分形成裂纹线。沿沟槽线(TL)分断玻璃衬底(11)。分断玻璃衬底(11)的步骤包含以裂纹线为起点沿低负荷区间(LR)使裂纹伸展的步骤。

技术领域

本发明涉及脆性衬底的分断方法。

背景技术

在平板显示器面板或太阳能电池面板等电气设备的制造中，经常需要分断玻璃衬底等脆性衬底。首先在衬底上形成划线，其次沿所述划线分断衬底。刻划能够通过使用刀尖对衬底机械加工而形成。通过刀尖在衬底上滑动或滚动，而在衬底上形成由塑性变形所致的沟槽，并同时在所述沟槽的正下方形成垂直裂纹。其后，进行称为分断步骤的应力赋予。由此，通过使所述垂直裂纹在厚度方向上完全进展而分断衬底。

分断衬底的步骤相对多的是于在衬底形成划线的步骤后立刻进行。但是，也提出有在形成划线的步骤与分断步骤之间进行加工衬底的步骤。

例如根据国际公开第2002/104078号的技术，在有机EL(Electroluminescence，电致发光)显示器的制造方法中，能够在安装密封盖之前针对成为各有机EL显示器的每一区域在玻璃衬底上形成划线。因此，能够避免在设置密封盖后在玻璃衬底上形成划线时成为问题的密封盖与玻璃切割器的接触。

此外，例如根据国际公开第2003/006391号的技术，在液晶显示面板的制造方法中，能够将2个玻璃衬底在形成划线后贴合。由此，能够用1次分断步骤将2个脆性衬底同时分断。

[现有技术文献]

[专利文献]

专利文献1：国际公开第2002/104078号

专利文献2：国际公开第2003/006391号

发明内容

[发明所要解决的问题]

根据所述先前技术，在形成划线后进行对脆性衬底的加工，且通过其后的应力赋予而进行分断步骤。此意味着在对脆性衬底加工时沿划线整体已存在垂直裂纹。因此，能够能会因在加工中意外产生所述垂直裂纹在厚度方向上的进而伸展，而在加工中应为一体的脆性衬底分离。此外，即使于不在划线的形成步骤与衬底的分断步骤之间进行衬底的加工步骤的情况下，一般也需要在划线的形成步骤后且衬底的分断步骤前进行衬底的搬送或保管，此时能够能意外分断衬底。

本发明人为解决所述问题而开发了独自的分断技术。根据所述技术，作为规定分断脆性衬底的位置的线，首先，在其正下方形成不具有裂纹的沟槽线。通过形成沟槽线，而规定成为分断脆性衬底的位置。其后，只要维持在沟槽线的正下方不存在裂纹的状态，就不易产生沿沟槽线的分断。通过使用所述状态，即使预先规定成为分断脆性衬底的位置，也能够防止在应分断的时点之前意外分断脆性衬底。

所述沟槽线的形成是通过使用刀尖的机械加工进行。在所述机械加工时刀尖受损，最终不再适合使用。因此必须在适当的时机更换刀尖，所述作业负担在分断步骤中较大。根据本发明人的研究，与一般的划线的形成相比，沟槽线的形成不易产生对刀尖的损伤。但是，为了所述作业负担的进而减轻，期望开发对刀尖的损伤更小的分断方法。

本发明是为了解决如以上问题而完成的，其目的是提供一种能够减小对进行规定分断脆性衬底的位置的加工的刀尖损伤的脆性衬底的分断方法。

[解决问题的技术手段]

脆性衬底的分断方法具有以下步骤。