[发明专利]具有直插式MEMS开关的多通道继电器组合件

权利要求书

1.一种欧姆RF MEMS继电器，包含：

衬底，其具有第一电容耦合C_sub；

第一致动元件和第二致动元件，其串联电耦合，由此定义第一通道，其中，所述第一致动元件和所述第二致动元件配置成被独立地致动，进一步其中，所述第一致动元件和所述第二致动元件具有第二电容耦合C_间隙；

所述第一通道上的中点，其与所述第一致动元件和所述第二致动元件电气通信；以及

至少一个锚，其与所述衬底机械地耦合，并且支承所述第一致动元件和所述第二致动元件中的至少一个。

2.如权利要求1所述的欧姆RF MEMS继电器，其中，比C_sub/C_间隙＝r，其中，r<10。

3.如权利要求2所述的欧姆RF MEMS继电器，进一步其中，r<1。

4.如权利要求1所述的欧姆RF MEMS继电器，其中，所述中点的电势充当选通信号的公共参考。

5.如权利要求1所述的欧姆RF MEMS继电器，其中，所述至少一个锚包含由所述第一致动元件和所述第二致动元件所共享的公共锚。

6.如权利要求1所述的欧姆RF MEMS继电器，其中，所述至少一个锚包含支承所述第一致动元件的第一锚和支承所述第二致动元件的第二锚，其中，所述第一锚和所述第二锚并未彼此机械地耦合。

7.如权利要求1所述的欧姆RF MEMS继电器，进一步包含第三致动元件，所述第三致动元件与所述第一致动元件和所述第二致动元件中的至少一个串联电耦合，由此定义第二通道。

8.如权利要求7所述的欧姆RF MEMS继电器，其中，所述第一通道和所述第二通道以并联配置电耦合。

9.如权利要求7所述的欧姆RF MEMS继电器，其中，所述第一致动元件、所述第二致动元件以及所述第三致动元件中的至少两个处于并联配置。

10.如权利要求1所述的欧姆RF MEMS继电器，其中，所述第一致动元件和所述至少一个锚包含第一MEMS开关；并且所述第二致动元件和所述至少一个锚包含第二MEMS开关。

11.如权利要求1所述的欧姆RF MEMS继电器，进一步包含输入端口，其中，所述输入端口与所述第一致动元件之间的距离小于λ/4，其中，λ是波长。

12.如权利要求1所述的欧姆RF MEMS继电器，进一步包含至少一个栅极驱动器，所述栅极驱动器配置成提供选通信号以便对所述第一致动元件和所述第二致动元件中的至少一个进行致动。

13.如权利要求12所述的欧姆RF MEMS继电器，其中，所述至少一个栅极驱动器的所述选通信号被引用到至少两个致动元件。

14.如权利要求1所述的欧姆RF MEMS继电器，进一步包含输入端口和多个输出端口。

15.一种欧姆RF MEMS组合件，包含彼此电气通信的如权利要求1所述的多个所述RFMEMS继电器。

16.如权利要求1所述的欧姆RF MEMS继电器，进一步包含沿着所述第一通道的参考隔离。

17.如权利要求16所述的欧姆RF MEMS继电器，所述参考隔离进一步包含开关。

18.如权利要求1所述的欧姆RF MEMS继电器，所述第一通道包含共面波导。