[发明专利]在基板上形成的部件的端子检查方法及基板检查装置

权利要求书

1.一种部件的端子检查方法，其中，包括：

向检查对象物照射用于获得所述检查对象物的三维形状信息的光，并接收反射的光从而获得第一图像，向所述检查对象物照射具有各不相同色彩的至少两个以上的光，并接收反射的光，从而获得第二图像的步骤；

从获得的所述第一图像获得亮度信息，从获得的所述第二图像获得色相信息的步骤；

利用获得的所述亮度信息及所述色相信息，生成所述第一图像和所述第二图像的合成图像的步骤；

在所述合成图像上设置包含所述检查对象物的端子的检查区域的步骤；

在所述检查区域内检测各像素的色相信息的变化及各像素的亮度信息的变化的步骤；及

基于所述各像素色相信息的变化及所述各像素亮度信息的变化，对所述合成图像上的端子区域和焊料区域进行区分的步骤。

2.根据权利要求1所述的部件的端子检查方法，其中，

用于获得所述检查对象物的三维形状信息的光以垂直于所述检查对象物的平面的法线为基准，按第一倾斜角照射，

具有各不相同色彩的至少两个以上的光至少包括第一彩色光及具有不同于所述第一彩色光的色彩的第二彩色光，且所述第一彩色光按小于所述第一倾斜角的第二倾斜角照射，所述第二彩色光按大于所述第一倾斜角的第三倾斜角照射。

3.根据权利要求1所述的部件的端子检查方法，

在所述设置检查区域的步骤后，还包括：

在所述检查区域内，沿着基准方向设置像素的色相从第一色彩变化为另一色彩的区间的步骤，

其中，所述基准方向为从所述端子的一侧边界朝向另一侧边界的方向；

其中，在所述区间内，检测各像素的色相信息的变化及各像素的亮度信息的变化；

在所述检测变化的步骤后，进一步包括：

以所述各像素色相信息的变化及所述各像素亮度信息的变化为基础，获得所述端子的边界中至少一部分的步骤。

4.根据权利要求3所述的部件的端子检查方法，其中，

所述色相及所述亮度设置为针对各个像素而正规化的定量的值，所述色相的变化及所述亮度的变化为沿所述基准方向的各像素色相值的变化及各像素亮度值的变化。

5.根据权利要求4所述的部件的端子检查方法，其中，

所述第一色彩为红色，所述色相的变化沿所述基准方向，在所述区间增加，所述亮度的变化沿所述基准方向，在所述区间减小，所述端子的边界决定为基于所述各像素色相值变化的增加趋势线与基于所述各像素亮度值变化的减少趋势线的相交点。

6.一种部件的端子检查方法，其中，包括：

向检查对象物照射用于获得所述检查对象物的三维形状信息的光，并接收反射的光从而获得第一图像，向所述检查对象物照射具有各不相同色彩的至少两个以上的光，并接收反射的光，从而获得第二图像的步骤；

从获得的所述第一图像获得亮度信息，从获得的所述第二图像获得色相信息的步骤；及利用获得的所述亮度信息及所述色相信息，获得所述检查对象物的端子的边界中至少一部分的步骤；

从所述第一图像获得高度数据的步骤；及

利用所述高度数据来修正所述亮度信息的步骤，

利用获得的所述亮度信息及所述色相信息来获得所述检查对象物的端子的边界中至少一部分的步骤是，利用所述修正的亮度信息及所述色相信息，获得所述检查对象物的端子的边界中至少一部分。

7.根据权利要求6所述的部件的端子检查方法，其中，

在利用所述高度数据来修正所述亮度信息的步骤中，在所述高度数据中，在基准高度以下的情况下，将所述亮度信息设置为0。