[发明专利]用于极紫外源的可变半径反射镜二向色分束器模块

权利要求书

1.一种极紫外辐射源，包括：

微滴发生器，用于提供微滴；

至少一个激光源，所述至少一个激光源用于提供预脉冲以辐照所述微滴以便创建靶微滴，所述预脉冲与预脉冲焦面相关联，并且所述至少一个激光源用于提供主脉冲以将所述靶微滴辐照成等离子体状态，所述主脉冲与主脉冲焦面相关联；

二向色分裂器模块，用于使所述预脉冲和所述主脉冲聚焦，所述二向色分裂器模块包括至少一个可变半径反射镜；以及

控制器，被耦合至所述至少一个可变半径反射镜，以调整所述至少一个可变半径反射镜的曲率半径，从而调整所述预脉冲焦面与所述主脉冲的所述主脉冲焦面之间的距离，所述控制器设置所述至少一个可变半径反射镜的所述曲率半径，其中设置所述至少一个可变半径反射镜的所述曲率半径包括设置施加至所述至少一个可变半径反射镜的流体的压力。

2.根据权利要求1所述的极紫外辐射源，所述控制器进一步基于所述主脉冲的在与所述预脉冲焦面相距指定距离处的光束直径的期望值来将所述至少一个可变半径反射镜的所述曲率半径设置为初始值。

3.根据权利要求2所述的极紫外辐射源，所述控制器进一步：

基于设置为所述初始值的所述曲率半径来操作所述至少一个激光源，以提供所述主脉冲；

用波前传感器测量所述主脉冲，以提供与所述主脉冲的在与所述预脉冲焦面相距所述指定距离处的所述光束直径对应的测得值；以及

基于所述初始值和所述测得值来调整所述至少一个可变半径反射镜的所述曲率半径。

4.根据权利要求1所述的极紫外辐射源，所述至少一个激光源包括：

第一激光源，用于提供所述预脉冲；以及

第二激光源，用于提供所述主脉冲。

5.根据权利要求1所述的极紫外辐射源，所述二向色分裂器模块进一步包括：

第一二向色分裂器，用于将所述主脉冲反射至所述至少一个可变半径反射镜；以及

第二二向色分裂器，用于在所述主脉冲已经被所述至少一个可变半径反射镜反射之后将所述主脉冲朝向所述靶微滴反射。

6.一种用于将激光束提供给室的方法，所述室被配置用于生成EUV光，所述方法包括：

使预脉冲朝向所述室传播通过二向色分裂器模块，所述预脉冲具有在所述室内的预脉冲焦面，所述二向色分裂器模块包括第一二向色分裂器、第二二向色分裂器和具有曲率半径的可变半径反射镜；

使主脉冲朝向所述室传播通过所述二向色分裂器模块，使所述主脉冲传播通过所述二向色分裂器模块包括用所述可变半径反射镜使所述主脉冲反射和用所述第二二向色分裂器使所述主脉冲朝向所述室反射，所述主脉冲具有在与所述预脉冲焦面相距指定距离处的光束直径；

测量所述主脉冲以对于指示所述可变半径反射镜的所述曲率半径的一组值提供指示在所述指定距离处的所述光束直径的一组值；和

在存储器中存储指示了指示所述光束直径的所述一组值和指示所述可变半径反射镜的所述曲率半径的所述一组值的数据结构，所述数据结构提供指示所述光束直径的所述一组值到指示所述可变半径反射镜的所述曲率半径的所述一组值的一对一映射。

7.根据权利要求6所述的方法，进一步包括：

基于所述数据结构将所述可变半径反射镜的所述曲率半径设置为初始值。

8.根据权利要求7所述的方法，进一步包括：

基于所述光束直径的期望值将所述可变半径反射镜的所述曲率半径设置为所述初始值。

9.根据权利要求7所述的方法，进一步包括：

基于在将所述室中的靶微滴转换成等离子体状态以提供极紫外辐射时的期望的功率节点，将所述可变半径反射镜的所述曲率半径设置为所述初始值。

10.根据权利要求9所述的方法，进一步包括：

将在各个时间实例处的所述主脉冲提供给所述室中的多个靶微滴，所述各个时间实例发生在设置所述可变半径反射镜的所述曲率半径之后。