[发明专利]X射线测量设备及其图像重建方法、结构物制造方法

权利要求书

1.一种图像重建方法，其特征在于,所述方法包括：

生成差异数据，所述差异数据表示检测数据与推定数据的差异，其中所述检测数据为通过检测穿透被测定物的X射线而生成的检测数据，所述推定数据为通过推定穿透推定结构物的X射线而生成的推定数据，其中所述推定结构物为通过对所述被测定物的形状进行推定而得到的推定结构物；以及

基于所述差异数据与所述推定结构物的立体图像数据生成图像。

2.根据权利要求1所述的图像重建方法，其特征在于，通过在多个不同的照射方向，检测穿透所述被测定物的X射线，生成多个所述检测数据，

根据所述多个不同的、每个照射方向，通过推定穿透所述推定结构物的X射线，生成多个所述推定数据，

根据所述多个不同的、每个照射方向，生成所述差异数据，

采用反向投影多个所述差异数据生成的图像与所述推定结构物的立体图像数据生成图像。

3.根据权利要求2所述的图像重建方法，其特征在于，组合所述反向投影并生成的图像与所述推定结构物的立体图像数据，生成所述被测定物的内部结构图像。

4.根据权利要求1至3任一项所述的图像重建方法，其特征在于，基于所述被测定物的材料信息与射入所述被测定物的X射线光谱信息，推定所述X射线照射所述推定结构物时穿透X射线的强度，并生成所述推定数据。

5.根据权利要求1至3任一项所述的图像重建方法，其特征在于，基于射入所述被测定物的X射线光谱信息与，X射线穿透所述被测定物时有关光电吸收的信息与X射线穿透所述被测定物时有关康普顿效应的信息的至少一个信息，推定所述X射线照射所述推定结构物时的穿透X 射线强度。

6.根据权利要求4所述的图像重建方法，其特征在于，假定所述X射线的衰减系数含有第1 要素与第2要素，通过使用所述检测数据与所述推定数据，计算所述第2要素的值，提取所述差异数据；其中所述第1要素是依赖于所述X射线光子能量的第1要素，所述第2要素是不依赖于所述X射线光子能量的第2要素。

7.根据权利要求1至3任一项所述的图像重建方法，其特征在于，所述形状的信息是所述被测定物的设计信息。

8.根据权利要求1至3任一项所述的图像重建方法，其特征在于，所述形状的信息是采用反向投影多个所述检测数据的图像生成的。

9.根据权利要求1至3任一项所述的图像重建方法，其特征在于，当提取的所述差异数据所表示的差异不超过第1阈值时，反向投影多个所述差异数据，并生成所述差异数据的反向投影图像，组合所述差异数据的反向投影图像与所述推定结构物的立体图像数据，并生成所述被测定物的内部结构图像。

10.根据权利要求1至3任一项所述的图像重建方法，其特征在于，当提取的所述差异数据所表示的差异比第1阈值还大时，基于多个所述差异数据所表示的差异，修正所述推定数据并生成修正后推定数据。

11.根据权利要求10所述的图像重建方法，其特征在于，采用所述检测数据与所述修正后推定数据，将提取所述检测数据与所述修正后推定数据之间差异的新的差异数据，

当所述新的差异数据所表示的差异不超过所述第1阈值时，反向投影所述新的差异数据，并且生成所述新的差异数据的反向投影图像，组合所述新的差异数据的所述反向投影图像与所述推定结构物的立体图像数据，并生成所述被测定物的内部结构图像。

12.一种结构物的制造方法，其特征在于，

编写有关结构物形状的设计信息，

基于所述设计信息编制所述结构物，

并采用权利要求1至11的任一项所述的图像重建方法，测量所编制的所述结构物的形状，并获取形状信息，

对获取的所述形状信息与所述设计信息进行比较。