[发明专利]X射线测量设备及其图像重建方法、结构物制造方法

说明书

该图像重建方法包括：通过旋转被测定物以及/或者改变X射线的照射方向，在多个不同的前述照射方向，将前述X射线照射前述被测定物，检测在前述多个不同照射方向上穿透前述被测定物的X射线，并且生成多个检测数据，该检测数据有关X射线穿透前述被测定物的强度；从前述多个不同的照射方向给推定结构物，即基于前述被测定物的形状信息推定的形状，照射前述X射线时，推定X射线按前述多个不同的照射方向穿透的强度，并生成多个推定数据；对于前述多个检测数据，使用前述X射线的照射方向相互对应的前述检测数据与前述推定数据，从前述检测数据提取差异数据，该差异数据表示前述推定数据与前述检测数据之间的差异。

技术领域

本发明涉及一种X射线测量设备的图像重建方法、结构物的制造方法、X射线测量设备的图像重建程序以及X射线测量设备。

背景技术

作为一种无需破坏物体即可获得物体内部信息的设备，例如，了解到有一种X射线设备，用以对物体照射X射线，并对透过该物体的X射线进行检测。该X射线设备具有照射X射线的X射线源，可检测透过物体的X射线，并对物体内部进行观察(请参照专利文献1)。由此，获取物体内部信息。

先行技术文献

专利文献1:美国专利申请公开2010/0098209号公报

然而，采用上述X射线设备获取的图像，是由照射到物体上的X射线引起的，所获得的图像中可能含有伪像等。其结果，就会出现标准精度下降这个问题。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种可抑制检查精度下降的X射线测量设备的图像重建方法、结构物的制造方法、X射线测量设备的图像重建程序以及X线测量设备。

根据本发明的第一方面，X射线测量设备的图像重建方法具有如下特征，即通过旋转被测定物以及/或者改变X射线的照射方向，从多个不同的照射方向，针对被测定的物体照射X射线，并检测多个不同的、每一个照射方向上所穿透被测定物的X射线，且生成多个有关被测定物穿透X射线强度的检测数据，以及依据被测定物的形状信息，推定定结构物的形状，当从多个不同的照射方向，向该推定定结构物照射X射线时，推定推定多个不同的、每一个照射方向上的X射线的透射强度，从而生成多个推定推定数据，再有，分别针对多个检测数据，采用在X射线的照射方向上相互对应的检测数据与推定推定数据，从检测数据中提取差异数据，该差异数据表示推定推定数据与检测数据之间的差异。

根据本发明的第二方面，X射线测量设备的图像重建方法具有如下特征，即通过旋转被测定物以及/或者改变X射线的照射方向，从多个不同的照射方向，针对被测定的物体照射X射线，并检测从多个不同的、每一个照射方向上所穿透被测定物的X射线，且生成多个有关被测定物穿透X射线强度的检测数据，以及依据被测定物的形状信息，推定推定结构物的形状，当从多个不同的照射方向，向该推定推定结构物照射X射线时，推定多个不同的、每一个照射方向上的X射线的透射强度推定，从而生成多个推定推定数据，再有，分别针对多个检测数据，采用在X射线的照射方向上相互对应的检测数据与推定推定数据，从检测数据中提取差异数据，该差异数据表示推定数据与检测数据之间的差异，进而当所提取的差异数据所表示的差异未超过既定值的条件下，即可判断被测定物为良品。

根据本发明的第三方面，结构物的制造方法，就是编写有关结构物形状的设计信息，并基于设计信息编制结构物，采用上述任一方面的X射线测量设备的图像重建方法测量所编制的结构物形状，并获取形状信息，再将所获取的形状信息与设计信息进行比较。