[发明专利]真空卡盘装置

权利要求书

1.一种真空卡盘装置，真空卡盘是由吸附部(10)和基底(20)相结合而形成的，所述吸附部(10)为了使得对象物得到吸附并支撑而由多孔材料形成，所述基底(20)与所述吸附部(10)相结合，从而通过吸附部(10)产生吸入压力，所述真空卡盘装置的特征在于，包括：

真空卡盘构成部(40)，其基底(20)形成有在内部用于形成真空的腔室(21)，并且在所述腔室(21)的内侧形成多个支撑架(30)，所述多个支撑架(30)能够支撑吸附部(10)，所述基底(20)的至少任意一侧形成有吸入孔(23)，所述吸入孔(23)用于能够在腔室(21)内部生成吸入压力；

框架(50)，其为了使得所述真空卡盘构成部(40)保持用于实施作业的高度，在上部安装有真空卡盘构成部(40)，并且在真空卡盘构成部(40)的下侧形成有收纳空间(S)，所述收纳空间(S)收纳用于使得真空卡盘构成部(40)驱动的设备。

2.根据权利要求1所述的真空卡盘装置，其特征在于，所述框架(50)包括：

图像采集装置(52)，其配置于真空卡盘构成部(40)的上部，从而能够对对象物的作业或实验状况进行观察；

设置架(51)，其为了能够使得所述图像采集装置(52)配置于真空卡盘构成部(40)的上部，从而向框架(50)的上部延长形成。

3.根据权利要求2所述的真空卡盘装置，其特征在于，

所述框架(50)还包括导轨总成(60)，所述导轨总成(60)设置于设置架(51)，并与图像采集装置(52)相结合，从而能够对图像采集装置(52)的位置和角度进行变更，所述影像采集装置(52)用于在安装有对象物的真空卡盘构成部(40)的上部观察对象物。

4.根据权利要求1所述的真空卡盘装置，其特征在于，

所述支撑架(30)在腔室(21)的内部按多个列和行进行排列形成，在对象物吸附于吸附部(10)上后，为了向各个方向支撑对象物的重量，内侧的部分形成为“+”形态。

5.根据权利要求1所述的真空卡盘装置，其特征在于，

所述吸入孔(23)贯通基底(20)的内、外壁面并由一个以上的数量形成，并且所述吸入孔(23)的中心线上形成为能够配置于按多个列和行进行排列的支撑架(30)与支撑架(30)的间隔之间。

6.根据权利要求1所述的真空卡盘装置，其特征在于，

所述基底(20)形成为四边形态，在相互面对的两侧的侧壁以相互面对的形式形成多个吸入孔(23)，所述支撑架(30)以使得多个支撑架(30)之间的间隔形成于吸入孔(23)的中心线上的形式进行排列形成。

7.一种真空卡盘装置，真空卡盘是由吸附部(10)和基底(20)相结合而形成的，所述吸附部(10)为了使得对象物得到吸附并支撑而由多孔材料形成，所述基底(20)与所述吸附部(10)相结合，从而通过吸附部(10)产生吸入压力，所述真空卡盘装置的特征在于，

所述基底(20)形成有在内部用于形成真空的腔室(21)，在所述腔室(21)的内侧形成有多个支撑架(30)，所述多个支撑架(30)能够支撑吸附部(10)，在所述基底(20)的至少任意一侧形成有吸入孔(23)，所述吸入孔(23)用于能够在腔室(21)内部生成吸入压力。

8.根据权利要求7所述的真空卡盘装置，其特征在于，

所述支撑架(30)在腔室(21)的内部按多个列和行进行排列形成，在对象物吸附于吸附部(10)上后，为了向各个方向支撑对象物的重量，内侧的部分形成为“+”形态。

9.根据权利要求7所述的真空卡盘装置，其特征在于，

所述吸入孔(23)贯通基底(20)的内、外壁面并由一个以上的数量形成，并且所述吸入孔(23)的中心线上形成为能够配置于按多个列和行进行排列的支撑架(30)与支撑架(30)的间隔之间。

10.根据权利要求7所述的真空卡盘装置，其特征在于，

所述基底(20)形成为四边形态，在相互面对的两侧的侧壁以相互面对的形式形成多个吸入孔(23)，所述支撑架(30)以使得多个支撑架(30)之间的间隔形成于吸入孔(23)的中心线上的形式进行排列形成。

11.根据权利要求7所述的真空卡盘装置，其特征在于，

所述基底(20)在开放部形成有结合槽(22)，吸附部(10)结合于所述开放部，吸附部(10)的外周端以插入的形式结合于所述结合槽(22)。