[发明专利]激光加工机以及激光加工方法

说明书

本发明是一种激光加工机以及激光加工方法，该激光加工机(100)使载置于工作台(108)的工件和照射激光的光学头(10)相对移动，通过对工件照射激光来加工工件，具备：校准相机(42)，其固定于光学头(10)；探针(40)，其固定于光学头(10)；以及校准单元(50)，其具有对校准相机(42)以及探针(40)的位置进行测定的测定基准点(Pc1、Pc2、Pc3、Pp1、Pp2、Pp3)和利用激光来形成加工痕迹(L1、L2)的加工部(68)。

技术领域

本发明涉及激光加工机以及激光加工方法，尤其是涉及在具备对工件的尺寸、位置进行测定的接触式探针的激光加工机中校准接触式探针的位置的激光加工机以及激光加工方法。

背景技术

近来，开发出了如下的激光加工机：将接触式探针、静电电容传感器安装于激光加工机，以将工件安装于激光加工机的状态对工件的尺寸、形状进行测定。例如，在专利文献1中记载有如下的激光加工机：在激光加工头的前端设置静电电容传感器，并利用该静电电容传感器对激光加工头的前端与工件的间隙进行控制。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平9-220685号公报

发明内容

发明要解决的课题

像这样，在具备接触式探针、静电电容传感器的激光加工机中，接触式探针、静电电容传感器与照射激光的激光加工头或光学头的位置关系可以说是作为设计值已知的，但在接触式探针、静电电容传感器向激光加工头或光学头的安装中，不可避免地会包含有安装误差。即使在专利文献1的激光加工机中，由于没有相对于从激光加工头照射的激光的光轴、激光加工头的前端的Z轴上的位置对静电电容传感器的位置进行测定，所以在由静电电容传感器测定的工件的尺寸、形状中也会包含有由静电电容传感器向激光加工头的安装误差引起的误差。包含有这样的误差的测定结果会成为降低加工精度的原因。

本发明以解决这样的以往技术的问题为技术课题，其目的在于提供一种能够测定接触式探针相对于激光的光轴的位置并能够高精度地进行加工的激光加工机以及激光加工方法。

用于解决课题的手段

为了达成上述目的，根据本发明，提供一种激光加工机，所述激光加工机使载置于工作台的工件和照射激光的光学头相对移动，通过对工件照射激光来加工工件，其中，所述激光加工机具备：光学传感器，所述光学传感器固定于所述光学头；探针，所述探针固定于所述光学头；以及校准单元，所述校准单元具有利用所述光学传感器以及所述探针来测定位置的测定基准和利用所述激光来形成加工痕迹的加工部。

而且，根据本发明，提供一种激光加工方法，所述激光加工方法使载置于工作台的工件和照射激光的光学头相对移动，通过对工件照射激光来加工工件，其中，准备固定于所述工作台侧并具有测定基准以及加工部的校准单元，利用所述激光在所述校准单元的加工部加工出加工痕迹，利用固定于所述光学头的光学传感器测定所述加工部的加工痕迹的位置，并利用光学传感器测定所述校准单元的测定基准的位置，利用固定于所述光学头的探针测定所述校准单元的测定基准的位置，根据由所述光学传感器测定出的加工痕迹的位置以及测定基准的位置和由所述探针测定出的测定基准的位置，计算所述激光的加工位置与所述探针的测定位置的偏移量，根据计算出的所述激光的加工位置与所述探针的测定位置的偏移量以及由所述探针测定出的所述工件的位置，对所述工件与所述激光的加工位置的相对位置进行求解，基于求解出的所述工件与所述激光的加工位置的所述相对位置，使所述工作台与所述光学头相对移动，对工件进行加工。

发明效果