[发明专利]激光装置在审
申请号: | 201580075739.1 | 申请日: | 2015-03-25 |
公开(公告)号: | CN107210577A | 公开(公告)日: | 2017-09-26 |
发明(设计)人: | 荒川正树;柿崎弘司;若林理 | 申请(专利权)人: | 极光先进雷射株式会社 |
主分类号: | H01S3/10 | 分类号: | H01S3/10;H01S3/23 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人: | 李辉,龚晓娟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光 装置 | ||
1.一种激光装置,其中,该激光装置具有:
振荡器,其输出激光,包括第1激光腔室、光谐振器和配置在所述第1激光腔室中的第1放电电极对;
第1放大器,其对所述激光进行放大并输出,包括配置在从所述振荡器输出的所述激光的光路上的第2激光腔室、和以第1间隙间隔配置于所述第2激光腔室中的第2放电电极对;以及
第1光束调节光学系统,其配置在所述振荡器和所述第1放大器之间的光路上,调节从所述振荡器输出的所述激光,以使得入射到所述第1放大器的所述激光沿所述第2放电电极对的放电方向上的光束宽度与所述第2放电电极对的所述第1间隙间隔大致相同。
2.根据权利要求1所述的激光装置,其中,
所述第1光束调节光学系统包括正光焦度的第1光学元件、和相比所述第1光学元件靠所述激光的下游侧配置的正或负光焦度的第2光学元件。
3.根据权利要求2所述的激光装置,其中,
所述第1光学元件具有第1焦距FL1,
所述第2光学元件具有在所述第1焦距FL1以下的第2焦距FL2,
入射到所述第1光学元件的所述激光沿所述第2放电电极对的放电方向上的第1光束宽度A、与从所述第2光学元件射出的所述激光沿所述第2放电电极对的放电方向上的第2光束宽度B之比B/A由式B/A≒FL2/FL1确定,且所述第2光束宽度B与所述第2放电电极对的所述第1间隙间隔大致相同。
4.一种激光装置,其中,该激光装置具有:
振荡器,其输出激光,包括第1激光腔室、光谐振器和配置在所述第1激光腔室中的第1放电电极对;
第1放大器,其对所述激光进行放大并输出,包括配置在从所述振荡器输出的所述激光的光路上的第2激光腔室、和配置于所述第2激光腔室中的第2放电电极对;以及
第1光束调节光学系统,其配置在所述振荡器和所述第1放大器之间的光路上,调节从所述振荡器输出的所述激光,包括正光焦度的第1光学元件、和相比所述第1光学元件靠所述激光的下游侧配置的正或负光焦度的第2光学元件。
5.根据权利要求4所述的激光装置,其中,
所述第1光学元件具有第1焦距FL1,
所述第2光学元件具有在所述第1焦距FL1以下的第2焦距FL2,
所述激光装置被配置为,所述第2光学元件的前侧焦点的位置相比所述第1光学元件的后侧焦点的位置稍靠所述激光的下游侧。
6.一种激光装置,其中,该激光装置具有:
振荡器,其输出激光,包括第1激光腔室、光谐振器和配置在所述第1激光腔室中的第1放电电极对;
第1放大器,其对所述激光进行放大并输出,包括配置在从所述振荡器输出的所述激光的光路上的第2激光腔室、和配置于所述第2激光腔室中的第2放电电极对;以及
第1光束调节光学系统,其是配置在所述振荡器和所述第1放大器之间的光路上的双远心光学系统。
7.根据权利要求6所述的激光装置,其中,
所述第1光束调节光学系统的倍率是大致等倍。
8.根据权利要求6所述的激光装置,其中,
所述第1光束调节光学系统的物点位于所述光谐振器内,
所述第1光束调节光学系统的像点位于所述第2放电电极对之间。
9.根据权利要求6所述的激光装置,其中,
所述第1光束调节光学系统的物点位于所述光谐振器的大致中心,
所述第1光束调节光学系统的像点位于所述第2放电电极对之间的大致中心。
10.根据权利要求1所述的激光装置,其中,所述激光装置还具有:
第2放大器,其对从所述第1放大器输出的所述激光进行放大并输出,包括配置在从所述第1放大器输出的所述激光的光路上的第3激光腔室、和以第2间隙间隔配置于所述第3激光腔室中的第3放电电极对;以及
第2光束调节光学系统,其配置在所述第1放大器和所述第2放大器之间的光路上,调节从所述第1放大器输出的所述激光,以使得入射到所述第2放大器的所述激光沿所述第3放电电极对的放电方向上的光束宽度与所述第3放电电极对的所述第2间隙间隔大致相同。
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