[发明专利]使用提纯装置生产合成石英玻璃的方法

权利要求书

1.生产合成石英玻璃的方法，其包含下列工艺步骤：

(a) 蒸发含有至少一种可聚合的聚烷基硅氧烷化合物的原料，形成原料蒸气；

(b) 使由工艺步骤(a)产生的原料蒸气经过至少一个提纯装置，以提纯所述原料蒸气；

(c) 将由工艺步骤(b)产生的经提纯的原料蒸气供往反应区，在其中通过氧化和/或通过水解将所述原料蒸气转化成SiO₂颗粒；和

(d) 将由工艺步骤(c)产生的SiO₂颗粒沉积在沉积面上，

(e) 任选地，干燥和玻璃化由工艺步骤(d)产生的SiO₂颗粒，形成合成石英玻璃，

其特征在于，工艺步骤(b)的所述至少一个提纯装置包含多孔二氧化硅颗粒的散积物，所述多孔二氧化硅颗粒具有2 - 450平方米/克的比表面积，其中通过根据Brunauer,Emmett和Teller的测量测定比表面积（BET-表面积）。

2.根据权利要求1的方法，其特征在于，所述多孔二氧化硅颗粒的散积物具有至少75重量%的颗粒具有50至4000微米直径的粒度分布。

3.根据权利要求1或2任一项的方法，其特征在于，所述多孔二氧化硅颗粒的散积物具有最多20重量%的<50微米的粒度比例。

4.根据权利要求1或2任一项的方法，其特征在于，所述多孔二氧化硅颗粒的散积物的堆密度为0.5至3克/立方厘米。

5.根据权利要求1或2任一项的方法，其特征在于，工艺步骤(b)中所述原料蒸气的流入速度为0.01至2米/秒。

6.根据权利要求1或2任一项的方法，其特征在于，所述多孔二氧化硅颗粒的散积物的堆积高度是10毫米至300毫米，平行于所述原料蒸气的流向。

7.根据权利要求1或2任一项的方法，其特征在于，所述至少一种可聚合的聚烷基硅氧烷化合物的液体原料在蒸发前未经受固相萃取。

8.根据权利要求1或2任一项的方法，其特征在于，所述聚烷基硅氧烷化合物选自六甲基环三硅氧烷（D3）、八甲基环四硅氧烷（D4）、十甲基环五硅氧烷（D5）、十二甲基环六硅氧烷（D6）、十四甲基环七硅氧烷（D7）、十六甲基环八硅氧烷（D8）、它们的线性同系物和上述化合物的任意混合物。

9.根据权利要求1或2任一项的方法，其特征在于，所述原料蒸气另外包含惰性气体。

10.根据权利要求1或2任一项的方法，其特征在于，通过工艺步骤(b)中的提纯造成的原料蒸气的压降为2至750毫巴。

11.用于生产合成石英玻璃的装置，其特征在于下列组件：

至少一个蒸发器区(1)，其用于蒸发至少一种原料，所述原料含有至少一种可聚合的聚烷基硅氧烷化合物，形成原料蒸气；

至少一个提纯装置(2)，向其中引入由所述至少一个蒸发器区(1)产生的原料蒸气，并且其包含多孔二氧化硅颗粒的散积物，所述多孔二氧化硅颗粒具有2 - 450平方米/克的比表面积，其中通过根据Brunauer, Emmett和Teller的测量测定比表面积（BET-表面积）；

至少一个反应区(3)，向其中送入由所述至少一个提纯装置(2)产生的经提纯的原料蒸气，并且在其中通过热解或通过水解将所述原料转化成SiO₂颗粒；和

至少一个沉积区(4)，其具有用于由反应区(3)产生的SiO₂颗粒的沉积区，形成合成石英玻璃。

12.根据权利要求11的装置，其特征在于，所述提纯装置(2)另外包含至少一个织物(7)。