[发明专利]带电粒子束装置及带电粒子束装置的控制方法

权利要求书

1.一种带电粒子束装置，其特征在于，具备：

电子束源，其向载台上的试样照射带电粒子束；

载台驱动部，其驱动所述载台；

检测器，其检测从所述试样释放的带电粒子；

第一图像传输部，其利用第一图像传输协议将来自所述检测器的信号作为图像数据传输；

第二图像传输部，其利用第二图像传输协议将来自所述检测器的信号作为图像数据传输；

切换部，其基于所述载台的状态切换使用所述第一图像传输部和所述第二图像传输部；以及

终端，其显示经由通信网络从所述第一图像传输部或所述第二图像传输部接收的图像数据，其中，

所述第一图像传输协议是可靠性比所述第二图像传输协议高的协议，

所述切换部在判定出所述载台的状态为停止过程中的情况下，选择所述第一图像传输部；

所述第二图像传输协议是传输速度比所述第一图像传输协议快的协议，

所述切换部在判定出所述载台的状态为移动过程中的情况下，选择所述第二图像传输部。

2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

所述切换部在扫描模式的扫描速度为预定值以上的情况下，即使所述载台的状态为停止过程中，也选择所述第二图像传输部。

3.根据权利要求2所述的带电粒子束装置，其特征在于，

所述切换部在选择了所述第二图像传输部的期间，在从所述终端指示了扫描停止的情况下，从所述第二图像传输部切换至所述第一图像传输部。

4.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

根据所述载台的移动速度来判定所述载台的状态。

5.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

基于输入至所述载台驱动部的载台驱动指令来判定所述载台的状态。

6.根据权利要求5所述的带电粒子束装置，其特征在于，

基于作为输入至所述载台驱动部的所述载台驱动指令的加速指令或减速指令的有无和所述载台的加速度来判定所述载台的状态。

7.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

基于来自所述终端的指示来判定所述载台的状态。

8.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

基于输入至所述载台驱动部的载台驱动指令和来自所述终端的指示来判定所述载台的状态。

9.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

在所述载台的状态为停止过程中的情况下，以从所述终端选择的扫描模式动作，

在所述载台的状态为移动过程中的情况下，以预先准备的预定的扫描模式动作。

10.根据权利要求9所述的带电粒子束装置，其特征在于，

所述预定的扫描模式是显示于所述终端的图像以在观察者看来是视频的程度的间隔被更新的模式。

11.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

所述第一图像传输协议是连接协议。

12.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

所述第二图像传输协议是无连接协议。