[发明专利]带电粒子束装置及带电粒子束装置的控制方法

说明书

本发明的带电粒子束装置(1)具备：载台驱动部(14)，其驱动载台(13)；检测器(16)，其检测从试样(SAMP)射出的带电粒子；第一图像传输部(20)，其利用第一图像传输协议传输来自所述检测器的信号；第二图像传输部(21)，其利用第二图像传输协议传输来自所述检测器的信号；以及切换部(23)，其基于所述载台的状态切换使用所述第一图像传输部和所述第二图像传输部。所述第一图像传输协议的可靠性比所述第二图像传输协议高，所述第二图像传输协议的传输速度比所述第一图像传输协议快。通过根据载台的状态切换使用多个图像传输部，提高对于载台移动的追随性和通信的抗故障性。

技术领域

本发明涉及一种带电粒子束装置及带电粒子束装置的控制方法。

背景技术

能够获得高倍率图像的扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope：SEM)等带电粒子束装置用聚焦的电子束扫描试样，并以此检测出从试样释放出的二次电子。

检测到的二次电子作为影像信号供给至与电子束的二维扫描同步的显示器等。若使用以往的带电粒子束装置，则能够以高倍率观察试样的表面构造的状态，因此用于广泛的工业领域。

在用带电粒子束装置观察图像的情况下，最初，用户从个人计算机等终端对装置本体发送用于使装置本体工作的命令。带电粒子束装置的装置本体接受来自终端的命令。装置本体按照接受的命令的内容，移动载置试样的载台，或改变载台的姿势，或切换从电子束源照射带电粒子束的扫描模式，来检测试样的像(放大像)。

装置本体将试样的放大像转换成影像信号等图像数据，并将该图像数据从装置本体经由通信网络线路传输至用户的终端。用户将像显示于终端画面进行观察。

作为连接装置本体和用户的终端的通信网络线路，使用所谓的以太网(注册商标)线路。作为使用以太网(注册商标)的通信协议，TCP(Transmission Control Protocol：传输控制协议)和UDP(User Datagram Protocol：用户数据报协议)为人所知。

TCP是比起通信速度而更重视可靠性的传输方式。在TCP中，例如，设置有即使在发生某种故障导致数据包丢失的情况下，也重新传输丢失的数据包等用于提高可靠性的结构。虽然TCP通信的可靠性高，但另一方面，协议处理的开销大，因此通信速度相对较低。

UDP是比起通信的可靠性而更重视通信速度的传输方式。在UDP中，例如，在数据包丢失的情况下，不重新传输丢失的数据包。从而UDP协议处理简单且开销小，因此能够进行高速通信。

在专利文献1中，在通信网络线路的容量变化的电子显微镜中，切换传输方式。由此，在专利文献1中，无论在线路容量大的情况下，还是线路容量小的情况下，都可以使图像的更新速度快。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2004-171936号公报

发明内容

发明要解决的课题

本申请发明人在对既能提高通信的抗故障性又能提高对载台移动的追随性的图像传输进行认真研究后，得到了以下知识和见识。

在利用以太网(注册商标)进行图像传输的带电粒子束装置中，由于提高通信的抗故障性，通常使用可靠性高的TCP。但是，由于TCP协议处理的开销大，难以得到放大图像的传输所需要的传输速度。

在得不到需要的传输速度的情况下，例如，在终端的图像显示无法充分追随试样载台的移动，因此带电粒子束装置的可靠性或使用便利性下降。若利用适合更高速规格的硬件，虽然也可以提高传输速度，但适合高速规格的硬件价格高，因此带电粒子束装置的成本增加。