[发明专利]用于测量沉积速率的方法及沉积速率控制系统

说明书

技术领域

本公开内容涉及一种用于控制蒸发材料(evaporated material)的沉积速率的方法、一种沉积速率控制系统、以及一种用于材料的蒸发的蒸发源。本公开内容特别涉及一种用于控制蒸发的有机材料的沉积速率的方法及控制系统。

背景技术

有机物蒸发器是用于生产有机发光二极管(OLED)的工具。OLED是特殊类型的发光二极管，其中发射层包括某些有机化合物的薄膜。有机发光二极管(OLED)被用来制造用于显示信息的电视屏幕、电脑显示屏、移动电话、其他手持装置等。OLED也可用于一般空间照明。OLED显示器的可行的颜色、亮度、和视角的范围大于传统的LCD显示器的这些特性，因为OLED像素直接地发光且不包含背光。因此，相较传统的LCD显示器的能量损耗，OLED显示器的能量损耗相当地少。此外，OLED可制造于柔性基板上的事实产生进一步的应用。

OLED的功能取决于有机材料的涂层厚度。这个厚度必须在预定范围中。在OLED的制造中，产生具有有机材料的涂层的沉积速率因而被控制为落在预定公差范围中。也就是说，必须在生产工艺中充分地控制有机物蒸发器的沉积速率。

因此，对于OLED应用及对于其他蒸发工艺来说，需要在较长时间内的高准确性的沉积速率。现有多个可行的用于测量蒸发器的沉积速率的测量系统。然而，这些测量系统在所需的时间段中面临准确性不足和/或稳定性不足的情况。

因此，对提供改进沉积速率测量方法、沉积速率控制系统、蒸发器及沉积设备有持续的需求。

发明内容

鉴于上述内容，提供根据独立权利要求的一种用于测量蒸发材料的沉积速率的方法、一种沉积速率控制系统、一种蒸发源、及一种沉积设备。其他优点、特征、方面及细节由从属权利要求、说明书及附图而清楚。

根据本公开内容的一方面，提供一种用于测量蒸发材料的沉积速率的方法。所述方法包括以第一测量与第二测量之间的一时间间隔测量沉积速率，及根据所测量的沉积速率调整所述时间间隔。

根据本公开内容的另一方面，提供一种沉积速率控制系统。所述沉积速率控制系统包括：沉积速率测量组件，用于测量蒸发材料的沉积速率；控制器，连接至沉积速率测量组件；以及蒸发源，其中控制器被配置为提供控制信号至沉积速率测量组件。特定地，控制器被配置为执行程序代码，其中在执行所述程序代码时，进行根据本文所述实施例的用于测量蒸发材料的沉积速率的方法。

根据本公开内容的进一步的方面，提供一种用于蒸发材料的蒸发源。所述蒸发源包括：蒸发坩锅，其中蒸发坩锅被配置为蒸发材料；分配管，具有沿着分配管的长度设置的一或多个出口以用于以一沉积速率提供蒸发材料至基板，其中分配管与蒸发坩锅流体连通；以及根据本文所述实施例的沉积速率控制系统。

根据本公开内容的再另一方面，提供一种沉积设备，用于在真空腔室中以一沉积速率施加材料至基板。所述沉积设备包括根据本文所述实施例的至少一个蒸发源。

本公开内容还针对一种用于执行所揭露的方法的设备，所述设备包括用于执行所述方法的设备部件。所述方法可通过硬件部件、由合适的软件编程的计算机、上述两者的任何结合或任何其他方式执行。此外，本公开内容还针对所描述的设备的操作方法。所述操作方法包括用于执行所述设备的各功能的方法。

附图说明

为了使本文所述的本公开内容的上述特征能被详细地了解，可通过参照实施例获得以上简要概述的更特定的描述。附图有关于本公开内容的实施例且被说明于下：

图1示出方块图，所述方块图示出根据本文所述实施例的用于测量蒸发材料的沉积速率的方法；

图2示出根据本文所述实施例的沉积速率控制系统的示意图；

图3示出根据本文所述实施例的沉积速率控制系统的示意图；

图4示出根据本文所述实施例的沉积速率控制系统的示意图；

图5示出根据如本文所述的用于测量沉积速率的方法的实施例来测量沉积速率的示意图；

图6A和6B各示出方块图，所述方块图示出如本文所述的用于测量蒸发材料的沉积速率的方法的实施例；

图7A示出根据本文所述实施例的处于第一状态中的测量组件的示意图；

图7B示出根据本文所述实施例的处于第二状态中的测量组件的示意侧视图；

图8A及8B示出根据本文所述实施例的蒸发源的示意侧视图；以及