[发明专利]用于基板的自锁保持器

权利要求书

1.一种保持器(200)，经构造而附接到载体主体(160)以用于保持基板(101)，所述保持器(200)包括：

第一部分(210)，所述第一部分(210)具有第一倾斜表面(212)，所述第一部分(210)经构造而被附接到所述载体主体(160)；以及

第二部分(220)，所述第二部分(220)经构造而在至少一个方向(X)上相对于所述第一部分(210)是可移动的，

其中所述第一倾斜表面(212)相对于待加载的基板(101)以第一角度(α₁)倾斜。

2.根据权利要求1所述的保持器，其中所述第二部分(210)包括第二倾斜表面(222)，所述第二倾斜表面(222)面向所述第一倾斜表面(212)，所述第二倾斜表面(222)相对于待加载的基板(101)以第二角度α₂倾斜。

3.根据权利要求2所述的保持器，其中所述第一角度(α₁)和所述第二角度(α₂)彼此相等。

4.根据权利要求2或3所述的保持器，其中所述第一角度(α₁)和/或所述第二角度(α₂)等于或小于10°，典型地等于或小于8°，和/或等于或大于4°，典型地等于或大于6°，具体地，其中所述第一角度(α₁)和/或所述第二角度(α₂)等于7°。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的保持器，进一步包括力布置(240)。

6.根据权利要求5所述的保持器，其中所述力布置从由以下组成的组中选择:至少一个弹簧元件或至少一个气缸。

7.根据权利要求5或6所述的保持器，其中所述力布置(240)经构造以用于在所述第一部分(210)和所述第二部分(220)之间施加力，以相对于所述第一部分(210)将所述第二部分(220)从加载位置移动到夹持位置。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的保持器，其中所述第一部分(210)进一步包括阶梯表面(214)，所述阶梯表面(214)面向所述第一倾斜表面(212)并且经构造以用于支撑待加载的基板(101)。

9.根据权利要求8所述的保持器，其中所述阶梯表面(214)包括具有高度(h)的阶梯部分，所述高度(h)等于所述待加载的基板(101)的厚度(d)。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的保持器，其中所述第二部分(220)进一步包括接触表面(224)，所述接触表面(224)与所述第一倾斜表面(212)相对。

11.一种保持器(200)，经构造而附接到载体主体(160)以用于保持基板(101)，所述保持器(200)包括：

U形第一部分(210)，所述U形第一部分(210)具有第一倾斜表面(212)和阶梯表面(214)，所述U形第一部分(210)经构造而附接到所述载体本体(160)，所述阶梯表面(214)面向所述第一倾斜表面(212)并经构造以用于支撑待加载的基板(101)；以及

第二部分(220)，所述第二部分(220)具有第二倾斜表面(222)和接触表面(214)，所述第二部分(220)相对于所述第一部分(210)在至少一个方向(X)上从打开位置到夹持位置是可移动的，所述第二倾斜表面(222)面向所述第一倾斜表面(212)，所述接触表面(224)面向所述阶梯表面(214)，其中所述第一倾斜表面(212)和所述第二倾斜表面(222)相对于所述接触表面(224)以角度(α)倾斜，所述角度(α)等于7°，

并且其中所述保持器(200)经构造以用于将所述基板(101)自锁在所述夹持位置中。

12.一种载体(100)，包括根据前述权利要求中任一项所述的至少一个保持器(200)。

13.根据权利要求12所述的载体，进一步包括载体主体(160)，所述载体主体(160)包括第一侧、第二侧、第三侧和第四侧，其中当所述载体(100)被布置在加载位置时，所述至少一个保持器(200)被布置在所述载体(160)的所述第一侧处，所述第一侧被布置在相对于重力的比所述第二侧、所述第三侧和所述第四侧更高的位置处。