[发明专利]用于基板的自锁保持器

说明书

技术领域

本公开的实施方式涉及用于在处理(例如，用于层沉积)期间保持基板的保持器。本公开的实施方式具体涉及经构造而附接到载体的载体主体以用于在真空层沉积期间保持基板的保持器。

背景技术

已知用于在基板上沉积材料的若干种方法。例如，可以通过物理气相沉积(PVD)工艺、化学气相沉积(CVD)工艺、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工艺等来涂布基板。通常，所述工艺在处理设备或处理腔室中进行，待涂布的基板位于所述处理设备或处理腔室中。在所述设备中提供沉积材料。多种材料，也可以是所述多种材料的氧化物、氮化物或碳化物，可以用于沉积在基板上。此外，可以在处理腔室中进行其它处理动作，例如蚀刻、结构化、退火或类似处理动作。

涂布的材料可以用于若干应用中和若干技术领域中。例如，在微电子领域的应用中，诸如生成半导体器件。此外，用于显示器的基板通常通过PVD工艺涂布。另外的应用包括绝缘板、有机发光二极管(OLED)面板、具有TET的基板、滤色器或类似应用。

通常，玻璃基板可以在玻璃基板处理期间被支撑在载体上。载体支撑玻璃或基板并经由处理机器被驱动。也就是说，载体驱动玻璃或基板。载体通常形成框架或板，所述框架或板沿着其周边支撑基板的表面，或者在后一种情况下，如此支撑表面。具体地，也可以使用框架形的载体来掩蔽玻璃基板，其中由框架围绕的载体中的孔隙提供以下孔隙：用于在被该孔隙暴露的基板部分上涂布待沉积的材料的孔隙，或用于在由该孔隙暴露的基板部分的作用其它处理步骤的孔隙。

为了将基板固定在载体中，可以使用不同的保持布置，例如玻璃保持器。最简单的保持器是适当弯曲的板簧(flat spring)。这种类型的弹簧需要从载体/玻璃的前侧作用以打开它的推动器。因此，需要在载体主体中的孔。在处理期间，涂层材料穿过所述孔，这产生了弯曲的板簧的涂层。当插入推动器以打开保持器时，涂层被从弯曲的板簧上刮掉，从而产生妨碍涂层品质的颗粒。避免微粒产生是针对顾客的考虑。从载体的背侧操作的其它已知的保持器在制造和维护方面是非常昂贵的。

鉴于上述，提供一种保持器，特别是一种经构造而附接到载体主体以用于保持基板并克服本领域中的至少一些问题的保持器是有益的。

发明内容

鉴于上述情况，提供了分别根据独立权利要求1和11所述的经构造而附接到载体主体以用于保持基板的保持器，根据权利要求12所述的载体，以及根据权利要求14所述的用于将基板固定在具有载体主体的载体中的方法。本公开内容的其它方面、优点和特征从从属权利要求、描述和附图中显而易见。

根据一个实施方式，提供了一种经构造而附接到载体主体以用于保持基板的保持器。保持器包括具有第一倾斜表面的第一部分，所述第一部分经构造而附接到载体主体；以及第二部分，所述第二部分经构造在至少一个方向上相对于第一部分是可移动的，其中第一倾斜表面相对于待加载的基板以第一角度倾斜。

根据另一实施方式，提供了一种经构造而附接到载体主体以用于保持基板的保持器。所述保持器包括具有第一倾斜表面和阶梯表面的U形第一部分，所述U形第一部分经构造而附接到载体主体，所述阶梯表面面向第一倾斜表面并且经构造以用于支撑待加载的基板；以及第二部分，所述第二部分具有第二倾斜表面和接触表面，所述第二部分在从打开位置到夹持位置的一个方向上相对于第一部分是可移动的，所述第二倾斜表面面向第一倾斜表面，所述接触表面面向阶梯表面，其中所述第一倾斜表面和所述第二倾斜表面相对于所述接触表面以某一角度倾斜，所述角度等于7°，并且其中所述保持器经构造用于将基板自锁在夹紧位置。

根据另一方面，提供了一种包括至少一个保持器的载体。所述至少一个保持器包括具有第一倾斜表面的第一部分，所述第一部分经构造而附接到载体主体；以及第二部分，所述第二部分经构造在至少一个方向上相对于第一部分是可移动的，其中所述第一倾斜表面相对于待加载的基板以第一角度倾斜。

根据又一个方面，提供了一种用于将基板固定在具有载体主体的载体中的方法。所述方法包括：将基板加载到载体上；相对于载体主体朝向所加载的基板移动至少一个保持器，所述至少一个保持器包括第一部分和第二部分；以及通过在至少一个方向上朝向基板移动至少一个保持器的第二部分，来用所述至少一个保持器夹持基板。

附图说明

因此，以可以详细地理解本公开内容的上述特征的方式，可以通过参考实施方式提供对简要概述于上的本公开内容的更具体描述。附图涉及本公开的实施方式，并描述如下：