[发明专利]元件安装装置

权利要求书

1.一种元件安装装置，具备：XY机器人；Z轴滑动件，以能够在Z轴方向上移动的方式安装于该XY机器人的一方的滑动件；头，搭载于所述Z轴滑动件；及吸嘴，以能够在Z轴方向上移动的方式安装于所述头，将从元件供给装置供给的元件吸附于所述吸嘴并向基板的预定位置搬运来进行安装，

所述元件安装装置的特征在于，具备：

第一配线配管，与搭载于所述XY机器人的一方的滑动件上的设备连接，追随该滑动件的动作；

第二配线配管，与搭载于所述Z轴滑动件上的设备连接，追随该Z轴滑动件的动作；及

挠性部，是通过将所述第一配线配管的至少一部分与所述第二配线配管的至少一部分集束在一起而形成的，能够沿所述XY机器人的一方的滑动件的移动方向及所述Z轴滑动件的移动方向伸缩。

2.根据权利要求1所述的元件安装装置，其中，

所述挠性部在该挠性部的一端位于该挠性部的另一端的正下方的状态下中间部分形成为U字形或S字形。

3.根据权利要求1或2所述的元件安装装置，其中，

所述Z轴滑动件具备壳体，所述壳体从该Z轴滑动件的下部通过所述XY机器人的另一方的滑动件的下方空间而到达安装有所述Z轴滑动件的一侧的相反侧的空间，

所述挠性部在所述相反侧的空间内设于从所述壳体至所述另一方的滑动件的上部的区间。

4.根据权利要求3所述的元件安装装置，其中，

所述挠性部构成为以不会从所述相反侧的空间的预定区域突出的方式挠曲。

5.根据权利要求4所述的元件安装装置，其中，

所述预定区域与由所述XY机器人的另一方的滑动件的构成部件围成的空间重复。