[发明专利]激光系统

权利要求书

1.一种激光系统，其具备：

第1激光装置，其进行激光振荡来输出第1激光，且该第1激光装置包括：第1激光腔；配置于所述第1激光腔内的第1一对电极；第1脉冲产生器，其包括第1充电电容器，并通过蓄积于所述第1充电电容器内的电能生成脉冲电压，将该脉冲电压施加到所述第1一对电极；及第1充电器，其向所述第1充电电容器供给电能而进行充电；

第2激光装置，其进行激光振荡来输出第2激光，且该第2激光装置包括：第2激光腔；配置于所述第2激光腔内第2一对电极；第2脉冲产生器，其包括第2充电电容器，并通过蓄积于所述第2充电电容器内的电能生成脉冲电压，将该脉冲电压施加到所述第2一对电极；及第2充电器，其向所述第2充电电容器供给电能而进行充电；

公共的充电电压测量部，其测量向所述第1充电电容器进行充电的充电电压及向所述第2充电电容器进行充电的充电电压；

至少一个泄放电路，其使向所述第1充电电容器进行充电的充电电压及向所述第2充电电容器进行充电的充电电压个别地降低；

泄放电路控制部，其根据由所述充电电压测量部测量到的电压来控制所述至少一个泄放电路；及

光束化装置，其将所述第1激光和所述第2激光捆住而射出光束化激光。

2.根据权利要求1所述的激光系统，其中，该激光系统还具备：

第1分压电路，其与所述第1充电电容器连接，以第1比例对向所述第1充电电容器进行充电的充电电压进行分压而输出到所述充电电压测量部；及

第2分压电路，其与所述第2充电电容器连接，以第2比例对向所述第2充电电容器进行充电的充电电压进行分压而输出到所述充电电压测量部。

3.根据权利要求2所述的激光系统，其中，

所述充电电压测量部包括：

开关，其切换成与所述第1分压电路连接的第1模式及与所述第2分压电路连接的第2模式；及

公共的测量部，其与所述开关连接。

4.根据权利要求1所述的激光系统，其中，

所述至少一个泄放电路包括：

第1泄放电路，其使向所述第1充电电容器进行充电的充电电压降低；及

第2泄放电路，其使向所述第2充电电容器进行充电的充电电压降低。

5.根据权利要求1所述的激光系统，其中，

所述至少一个泄放电路包括：

开关，其切换成与所述第1充电电容器连接的第1模式及与所述第2充电电容器连接的第2模式；及

公共的泄放电路，其与所述开关连接。

6.根据权利要求1所述的激光系统，其中，

该激光系统还具备第3激光装置，

该第3激光装置包括：第3激光腔；配置于所述第3激光腔内的第3一对电极；第3脉冲产生器，其包括第3充电电容器，并通过蓄积于所述第3充电电容器内的电能生成脉冲电压，将该脉冲电压施加到所述第3一对电极；及第3充电器，其向所述第3充电电容器供给电能而进行充电，

所述充电电压测量部还测量向所述第3充电电容器进行充电的充电电压，

所述至少一个泄放电路还使向所述第3充电电容器进行充电的充电电压降低。

7.根据权利要求1所述的激光系统，其中，

该激光系统还具备同步控制部，该同步控制部根据通过所述至少一个泄放电路降低后的向所述第1充电电容器进行充电的充电电压来控制将由所述第1脉冲产生器产生的脉冲电压施加到所述第1一对电极的施加时机，根据通过所述至少一个泄放电路降低后的向所述第2充电电容器进行充电的充电电压来控制将由所述第2脉冲产生器产生的脉冲电压施加到所述第2一对电极的施加时机。