[发明专利]光学干涉仪

权利要求书

1.一种光学干涉仪，其特征在于：

具备分支合波部、第一光学系统、第二光学系统以及驱动部，

所述分支合波部在透明构件的内部与外部之间的边界具有分支面、入射面、第一出射面、合波面以及第二出射面，

所述分支面和所述合波面是不同的面，

所述分支合波部在所述分支面上使从外部入射的入射光的一部分反射并作为第一分支光出射，并且将剩余部分作为第二分支光向内部透过，

所述分支合波部在所述入射面上使从所述分支面经所述第一光学系统入射的所述第一分支光向内部透过，

所述分支合波部在所述第一出射面上使从所述分支面经内部到达的所述第二分支光向外部出射，

所述分支合波部在所述合波面上对从所述入射面经内部到达的所述第一分支光以及从所述第一出射面经所述第二光学系统入射的所述第二分支光中的各自一部分进行合波并作为第一合波光向外部出射，并且对各自剩余部分进行合波并作为第二合波光向内部传播，

所述分支合波部在所述第二出射面上使从所述合波面经内部到达的所述第二合波光的一部分向外部出射，

所述第一光学系统由镜使从所述分支面出射的所述第一分支光反射并入射到所述入射面，

所述第二光学系统由镜使从所述第一出射面出射的所述第二分支光反射并入射到所述合波面，

所述驱动部使所述第一光学系统或者所述第二光学系统的任意的镜移动并调整从所述分支面到所述合波面为止的所述第一分支光以及所述第二分支光各自的光路长的差，

并且所述分支合波部在所述透明构件的内部与外部之间的边界进一步具有全反射面，所述全反射面的方位以向所述全反射面入射的所述第二合波光的入射角成为临界角以上的方式设定，所述第二出射面的方位以向所述第二出射面入射的所述第二合波光的入射角成为小于临界角的方式设定，

在所述全反射面上使从所述合波面经内部到达的所述第二合波光全反射并入射到所述第二出射面，在所述第二出射面上使在所述全反射面上被全反射的所述第二合波光向外部出射，

所述分支面被设置于所述分支合波部的一方侧，所述合波面以及所述第二出射面被设置于所述分支合波部的另一方侧。

2.如权利要求1所述的光学干涉仪，其特征在于：

进一步具备：

第一受光元件，对从所述合波面出射的所述第一合波光进行受光并输出对应于该受光量的第一电流信号I₁；

第二受光元件，对从所述第二出射面出射的所述第二合波光的一部分进行受光并输出对应于该受光量的第二电流信号I₂；以及

电流电压转换部，输出对应于从所述第一电流信号I₁减去所述第二电流信号I₂后的值(I₁-I₂)的电压信号。

3.如权利要求1所述的光学干涉仪，其特征在于：

所述分支合波部在所述透明构件的内部与外部之间的边界进一步具有第三出射面，在所述第三出射面上使在所述第二出射面上进行反射并经内部到达的所述第二合波光的剩余部分向外部出射。

4.如权利要求3所述的光学干涉仪，其特征在于：

进一步具备：

第一受光元件，对从所述合波面出射的所述第一合波光进行受光并输出对应于该受光量的第一电流信号I₁；

第二受光元件，对从所述第二出射面出射的所述第二合波光的一部分进行受光并输出对应于该受光量的第二电流信号I₂；

第三受光元件，对从所述第三出射面出射的所述第二合波光的剩余部分进行受光并输出对应于该受光量的第三电流信号I₃；以及

电流电压转换部，输出对应于从所述第一电流信号I₁减去所述第二电流信号I₂以及所述第三电流信号I₃后的值(I₁-I₂-I₃)的电压信号。