[发明专利]光学干涉仪

说明书

光学干涉仪(1A)具备分支合波部(10)、第一光学系统(20)、第二光学系统(30)以及驱动部(40)。分支合波部(10)在透明构件的内部与外部之间的边界具有分支面(11)、入射面(12)、第一出射面(13)、合波面(14)以及第二出射面(15)，在分支面(11)上使入射光(L₀)的一部分反射并作为第一分支光(L₁₁)出射并且将剩余部分作为第二分支光(L₂₁)向内部透过，在合波面(14)上对第一分支光(L₁₂)以及第二分支光(L₂₂)各自一部分进行合波并作为第一合波光(L₃)向外部出射，并且对各个剩余部分进行合波并作为第二合波光(L₄)向内部传播，在第二出射面(15)上使第二合波光(L₄)的一部分(L₄₁)向外部出射。由此，实现了能够降低过量损失的比例的光学干涉仪。

技术领域

本发明涉及光学干涉仪。

背景技术

专利文献1所记载的光学干涉仪例如使用由硅构成的分支合波部，通过在该分支合波部的某一平面上使入射光的一部分反射并使剩余部分透过从而两分支成第一分支光和第二分支光，并且对这些第一分支光和第二分支光进行合波并作为合波光进行输出。即，在该光学干涉仪中，分支合波部的一平面作为将入射光两分支成第一分支光和第二分支光的分支面以及对第一分支光和第二分支光进行合波并成为合波光的合波面的双方而被共同地使用。另外，在该文献所记载的光学干涉仪中，因为第一分支光以及第二分支光中的一方的光在往复于分支合波部的内部的期间产生波长分散，所以另一方的光以往复于分散补偿用构件的内部的方式谋求波长分散的问题的消除。

专利文献2所记载的光学干涉仪例如使用由硅构成的分支合波部，通过在该分支合波部的第一主面上使入射光的一部分反射并使剩余部分透过从而两分支成第一分支光和第二分支光，在分支合波部的第二主面上对第一分支光和第二分支光进行合波并作为合波光进行输出。即，在该光学干涉仪中，将入射光两分支成第一分支光和第二分支光的分支面(第一主面)、对第一分支光和第二分支光进行合波而成为合波光的合波面(第二主面)被作为不同的面。在该文献所记载的光学干涉仪中，因为第一分支光以及第二分支光各自只通过分支合波的内部1次所以能够抑制波长分散的问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2013-504066号公报

专利文献2：日本特开平3-77029号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

本发明人发现了包含专利文献1、2所记载的技术的现有的光学干涉仪具有如以下所述的问题。即，在现有的光学干涉仪中，入射光中成为合波光的比例小并且光利用效率差。一般来说，在光学干涉仪中，分别在分支面以及合波面上产生原理上不可避免的光的损失，但是，除此之外还会产生光的损失(以下称作为“过量损失”)。

本发明是为了解决上述问题而完成的，其目的在于，提供一种能够降低过量损失的比例的光学干涉仪。

解决问题的技术手段