[发明专利]带电粒子显微镜的观察辅助单元以及使用该观察辅助单元的试料观察方法

权利要求书

1.一种观察辅助单元，

用于对配置在非真空空间内的试料照射带电粒子束来进行观察，该非真空空间利用隔膜与产生带电粒子束的带电粒子光学镜筒的内部空间隔离，其特征在于，包括：

孔部，该孔部形成对所述试料进行观察的观察区域；以及主体部，该主体部覆盖所述试料，

该观察辅助单元在所述试料与所述隔膜之间，并直接放置在所述试料上，所述孔部小于对所述隔膜进行保持的隔膜保持构件的大小。

2.如权利要求1所述的观察辅助单元，其特征在于，

该观察辅助单元确保所述隔膜与所述试料处于非接触的状态。

3.如权利要求1所述的观察辅助单元，其特征在于，

所述孔部的大小在所述隔膜的供带电粒子束透过的部分、即窗部的大小以上。

4.如权利要求1所述的观察辅助单元，其特征在于，

所述主体部的大小大于对所述隔膜进行保持的隔膜保持构件的大小。

5.如权利要求1所述的观察辅助单元，其特征在于，

所述主体部的所述孔部周围的厚度恒定。

6.如权利要求1所述的观察辅助单元，其特征在于，

所述主体部的所述孔部周围的厚度比所述带电粒子束所涉及的观察条件下的该带电粒子束的平均自由程要小。

7.如权利要求1所述的观察辅助单元，其特征在于，

所述主体部的至少一部分由与所述试料的主成分不同的材料构成。

8.一种观察辅助单元，

用于对配置在非真空空间内的试料照射带电粒子束来进行观察，该非真空空间利用隔膜与产生带电粒子束的带电粒子光学镜筒的内部空间隔离，其特征在于，包括：

孔部，该孔部形成对所述试料进行观察的观察区域；以及主体部，该主体部覆盖所述试料，

该观察辅助单元在所述试料与所述隔膜之间，并直接放置在所述试料上，

该观察辅助单元的外周部比所述主体部的所述孔部周围更厚或者更硬。

9.一种观察辅助单元，

用于对配置在非真空空间内的试料照射带电粒子束来进行观察，该非真空空间利用隔膜与产生带电粒子束的带电粒子光学镜筒的内部空间隔离，其特征在于，包括：

孔部，该孔部形成对所述试料进行观察的观察区域；以及主体部，该主体部覆盖所述试料，

该观察辅助单元在所述试料与所述隔膜之间，并直接放置在所述试料上，

包括密封构件，该密封构件对所述主体部与供所述试料放置的试料台之间的空间进行密封。

10.如权利要求9所述的观察辅助单元，其特征在于，

由所述密封构件密封的所述主体部与供所述试料放置的试料台之间的空间通过面积比所述孔部要小的孔与该空间的外部相连通。

11.一种试料观察方法，

对配置在非真空空间内的试料照射带电粒子束来进行观察，该非真空空间利用隔膜与产生带电粒子束的带电粒子光学镜筒的内部空间隔离，其特征在于，包括：

在所述试料上直接搭载观察辅助单元的步骤，该观察辅助单元包括形成观察所述试料的观察区域的孔部以及将所述试料覆盖的主体部；以及

使搭载有所述观察辅助单元的状态的试料靠近所述隔膜的步骤，

在搭载有所述观察辅助单元的状态下，将在所述孔部露出的所述试料的表面所存在的液滴去除。

12.如权利要求11所述的试料观察方法，其特征在于，

所述隔膜与所述试料被确保为非接触的状态。

13.如权利要求11所述的试料观察方法，其特征在于，

具有使用光学显微镜来使所述观察辅助单元的孔部与所述试料上的想要观察的部位对准的步骤。