[发明专利]带电粒子显微镜的观察辅助单元以及使用该观察辅助单元的试料观察方法

说明书

为了以良好的便利性在大气气氛或气体气氛或所希望的压力下观察含水试料，本发明提供一种观察辅助单元，其用于对配置在非真空空间内的试料照射带电粒子束来进行观察，该非真空空间利用隔膜与产生带电粒子束的带电粒子光学镜筒的内部空间隔离。该观察辅助单元包括形成观察试料(6)的观察区域的孔部(501a)、以及将所述试料覆盖的主体部(502b)，并在所述试料(6)与所述隔膜之间，直接放置在所述试料上。

技术领域

本发明涉及能在大气压下、所希望的气体压力下或者气体种类下对试料进行观察的带电粒子束装置以及针对该带电粒子束装置的观察辅助单元。

背景技术

为了观察物体的微小区域，使用扫描型电子显微镜(SEM)、透射型电子显微镜(TEM)等。通常，这些装置中，对用于配置试料的壳体进行抽真空，使试料气氛变为真空状态来拍摄试料。然而，在生物试料、液体试料等含水试料的情况下，会因真空而受到损坏，或者状态发生改变。另一方面，由于想要用电子显微镜观察这种试料的需求较大，因此迫切需要能在大气压下、所希望的气体压力下或者气体种类下对观察对象试料进行观察的SEM装置。

为此，近年来已知一种SEM装置，在电子光学系统与试料之间设置能供电子束透射的隔膜、微孔来将电子束飞行的真空状态与试料气氛下隔开，从而能将试料配置于大气压下、所希望的气体压力下或者气体种类下。专利文献1中，公开了使用配置在隔膜正下方的试料平台，在隔膜与试料非接触的状态下对大气压下的试料进行SEM观察，以及为了观察而调整试料的位置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2012-221766号公报(美国专利申请公开第2014/0021347号说明书)

发明内容

发明所要解决的技术问题

在专利文献1所记载的带电粒子束装置中，为了进行观察，需要将隔膜与试料之间的距离调整到非常小，但在观察对象为含水试料的情况下，试料表面上存在的水滴可能会进入隔膜与试料之间，导致难以进行试料观察。特别地，即便在想要观察的部分、隔膜正下方没有水滴的状态下，也存在以下问题：若使试料靠近隔膜，则水滴接触对隔膜进行保持的构件，从而液滴涌向隔膜侧。因此，若采用以往的装置则难以观察含水试料。

本发明鉴于上述问题而完成，其目的在于提供一种便利性良好且能在大气气氛或气体气氛或所希望的压力下对含水试料进行观察的试料观察方法以及该试料观察方法所使用的观察辅助单元。

解决技术问题的技术方案

为了解决上述问题，提供一种观察辅助单元，用于对配置在非真空空间内的试料照射带电粒子束来进行观察，该非真空空间利用隔膜与产生带电粒子束的带电粒子光学镜筒的内部空间隔离。该观察辅助单元包括形成观察试料的观察区域的孔部、以及将试料覆盖的主体部。此外，该观察辅助单元在试料与隔膜之间，且直接放置在试料上。

此外，提供一种使用了该观察辅助单元的试料观察方法，该试料观察方法具有将该观察辅助单元直接搭载到试料上的步骤、以及使搭载了该观察辅助单元的状态的试料靠近隔膜的步骤。

发明效果

根据本发明，通过将作为观察辅助单元的盖板配置在隔膜与试料之间，从而能大幅降低多余的液滴接触隔膜的概率。其结果是，能以良好的便利性并且清楚地获取含水试料的图像。此外，通过大幅降低液滴接触隔膜的概率，从而能降低更换隔膜的频率并抑制运行成本。

上述以外的问题、结构及效果通过以下实施方式的说明来进一步明确。

附图说明

图1是实施例1的带电粒子显微镜的整体结构图。

图2是不使用盖板时的隔膜与含水试料附近的说明图。