[发明专利]相对压力传感器

权利要求书

1.一种用于感测压力的设备，包括：

相对压力传感器，所述相对压力传感器包括：

衬底；

处于所述衬底的面中的腔，所述腔具有处于所述衬底中的底面，其中，所述腔位于所述衬底的第一外侧壁和第二外侧壁之间，并且所述衬底的所述第一外侧壁和所述第二外侧壁彼此相对；

从所述腔延伸并直接连接到所述腔的内部的通道，其中，所述通道延伸穿过所述衬底的所述第二外侧壁；

压力感测器件；以及

支撑所述压力感测器件的隔膜，所述隔膜被安装至所述衬底并与所述腔的所述底面相对，

其中，所述通道包括具有第一开口和第二开口的管道，所述第一开口形成所述腔内的端口，并且

其中，除了所述第一开口和所述第二开口以外，所述通道在所有侧面上均被所述衬底包围。

2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述腔包括：

由所述衬底形成的底面；以及

由所述衬底形成的侧壁。

3.根据权利要求2所述的设备，其中，所述隔膜具有在平面中延伸的主要尺寸，并且其中，所述侧壁垂直于所述平面延伸。

4.根据权利要求2所述的设备，其中，所述隔膜具有在平面中延伸的主要尺寸，并且其中，所述侧壁和所述平面在所述腔内形成锐角。

5.根据权利要求1所述的设备，还包括液体容器，其中，所述通道从所述液体容器的内部和外部延伸。

6.根据权利要求1所述的设备，其中，所述压力感测器件包括具有压敏电阻器的惠斯通电桥。

7.一种液体供应装置，包括：

液体容器；

根据权利要求1-4和6中的任一项所述的设备；

由所述衬底支撑的液面传感器；以及

电互连，其中，所述液面传感器和所述相对压力传感器均通过所述电互连进行通信。