[发明专利]相对压力传感器

说明书

示例提供了一种包括相对压力传感器的设备，所述相对压力传感器包括衬底以及处于所述衬底的面中的腔。所述腔具有处于所述衬底中的底面。通道从所述腔延伸出来。隔膜支撑压力感测器件，并且被安装至所述衬底并与所述底面相对。

技术领域

本公开内容涉及压力感测，并且特别涉及用于感测压力的设备和方法。

背景技术

相对压力传感器用于感测不同区域之间的相对压力。诸如墨水容器或墨盒之类的液体容器可以包括相对压力传感器来识别液体容器内的过大压力。

发明内容

根据本发明的一个实施例，提供了一种用于感测压力的设备，包括：相对压力传感器，所述相对压力传感器包括：衬底；处于所述衬底的面中的腔，所述腔具有处于所述衬底中的底面，其中，所述腔位于所述衬底的第一外侧壁和第二外侧壁之间，并且所述衬底的所述第一外侧壁和所述第二外侧壁彼此相对；从所述腔延伸并直接连接到所述腔的内部的通道，其中，所述通道延伸穿过所述衬底的所述第二外侧壁；压力感测器件；以及支撑所述压力感测器件的隔膜，所述隔膜被安装至所述衬底并与所述腔的所述底面相对，其中，所述通道包括具有第一开口和第二开口的管道，所述第一开口形成所述腔内的端口，并且其中，除了所述第一开口和所述第二开口以外，所述通道在所有侧面上均被所述衬底包围。

附图说明

图1是示例性相对压力传感器的顶视图。

图2是图1的示例性相对压力传感器的端视图。

图3是沿线3-3截取的图3的示例性相对压力传感器的截面图。

图4是用于形成相对压力传感器的示例性方法的流程图。

图5A是用于形成示例性相对压力传感器的示例性方法的示例性第一阶段的顶视图；图5A示出了用于示例性相对压力传感器的示例性衬底。

图5B是沿线5B-5B截取的图5A的示例性衬底的截面图。

图5C是图5A的示例性衬底的端视图。

图6A是用于形成示例性相对压力传感器的示例性方法的示例性第二阶段的顶视图；图6A示出了在衬底的沟道之上并且在衬底的腔周围施加示例性盖状物之后的图5A的示例性衬底。

图6B是沿线6B-6B截取的图6A的示例性衬底的截面图。

图6C是图6A的衬底的端视图。

图7A是示例性压力感测管芯的顶视图。

图7B是图7A的示例性压力感测管芯的截面图。

图8是用于形成示例性相对压力传感器的示例性方法的示例性第三阶段的顶视图；图8示出了在安装了图7A的压力感测管芯之后的图6A的示例性衬底。

图9是用于形成示例性相对压力传感器的示例性方法的示例性第四阶段的顶视图；图9示出了在引线接合和封装之后的图8的示例性衬底。

图10是用于形成相对压力传感器的另一示例性衬底的截面图。

图11是图10的示例性衬底的顶视图。

图12是在安装了压力感测管芯并且盖状物被固定至示例性衬底之后的包括图10的示例性衬底的示例性相对压力传感器的截面图。

图13是图12的相对压力传感器的端视图。

图14是另一示例性相对压力传感器的截面图。

图15是包括示例性感测单元的示例性液体供应装置的截面图。

图16是包括示例性感测单元的另一示例性液体供应装置的截面图。

图17是沿线17-17截取的图16的示例性感测单元的截面图。