[发明专利]放射线成像装置、其制造方法和放射线检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及放射线成像装置、用于制造该放射线成像装置的方法 和放射线检查装置。

背景技术

放射线成像装置包括例如传感器面板，在该传感器面板中，用于 检测放射线的多个传感器被排列在基板上。在将放射线转换成光并且 将该光以光电方式转换成电信号的检测方法中，放射线成像装置还包 括闪烁体。

闪烁体由例如蒸发法形成，并且具有由掺铊碘化铯(Tl:CsI)等 的多个柱状晶体构成的结构。由于闪烁体是易潮解的，因此形成用于 抑制闪烁体的潮解的保护膜来覆盖该闪烁体。闪烁体被固定到诸如传 感器面板的基底部件上，因此保护膜需要具有粘附性(粘附力)。

日本专利特开No.2004-103934例示了其中布置有覆盖闪烁体并 包含作为单基体的硅烷基化合物的第一保护膜和覆盖第一保护膜并包 含作为单基体的氟化合物不饱和烃的第二保护膜的结构。

本发明人已发现，当树脂被用于闪烁体的保护层时，树脂中较大 的氟含量更有利于抑制闪烁体的潮解，而树脂中较小的氟含量增大了 树脂的粘附性。如上所述，闪烁体的保护膜需要抑制闪烁体的潮解并 具备粘附性。因此，需要考虑如何使用具有矛盾的特性的树脂来形成 保护膜。

发明内容

本发明提供一种用于在抑制闪烁体的潮解的同时提高闪烁体的保 护膜的粘附性的新技术。

本发明的第一方面提供一种放射线成像装置，包括在其上排列多 个传感器的传感器面板、被布置在基底部件的上方并由碱卤化物制成 的闪烁体、和被配置为抑制闪烁体的潮解的保护膜，其中保护膜包括 覆盖闪烁体的侧面和闪烁体的在与基底部件相对的一侧上的端部的第 一部分，以及在氟含量上小于第一部分并覆盖第一部分的表面的至少 一部分的第二部分。

本发明的第二方面提供一种放射线成像装置，包括在其上排列多 个传感器的传感器面板、被布置在传感器面板的上方并由碱卤化物制 成的闪烁体、和被配置为抑制闪烁体的潮解的保护膜，其中保护膜包 括覆盖闪烁体的侧面和闪烁体的在与基底部件相对的一侧上的端部的 第一部分，以及在氟含量上小于第一部分并覆盖第一部分的表面的至 少一部分的第二部分。

本发明的第三方面提供一种用于制造放射线成像装置的方法，包 括制备在其上排列多个传感器的传感器面板、制备基底部件并在基底 部件的上方形成由碱卤化物制成的闪烁体、在闪烁体的上方形成被配 置为抑制闪烁体的潮解的保护膜、以及将在其上形成闪烁体的基底部 件固定到传感器面板，以便使闪烁体靠近传感器面板的该多个传感器， 其中形成保护膜包括形成覆盖闪烁体的侧面和闪烁体的在与基底部件 相对的一侧上的端部的第一部分，以及形成在氟含量上小于第一部分 并覆盖第一部分的表面的至少一部分的第二部分，其中该第一部分是 保护膜的一部分，该第二部分是保护膜的一部分。

本发明的第四方面提供一种用于制造放射线成像装置的方法，包 括制备在其上排列多个传感器的传感器面板、在传感器面板的上方形 成由碱卤化物制成的闪烁体、在闪烁体的上方形成被配置为抑制闪烁 体的潮解的保护膜、以及制备基底部件并将基底部件固定到其上形成 闪烁体的传感器面板，以便使基底部件靠近闪烁体，其中形成保护膜 包括形成覆盖闪烁体的侧面和闪烁体的在与基底部件相对的一侧上的 端部的第一部分，以及形成在氟含量上小于第一部分并覆盖第一部分 的表面的至少一部分的第二部分，其中该第一部分是保护膜的一部分， 该第二部分是保护膜的一部分。

参照附图阅读示例性实施例的以下描述，本发明的进一步特征将 变得十分清楚。

附图说明

图1A和图1B是用于解释放射线成像装置的结构的示例的视图；

图2A-2D是用于解释用于制造闪烁体面板的方法的示例的视图；

图3A和图3B是用于解释放射线成像装置的结构的示例的视图；

图4是用于解释放射线成像装置的结构的示例的视图；

图5A-5C是用于解释用于制造闪烁体面板的方法的示例的视图；

图6是用于解释放射线成像装置的结构的示例的视图；和

图7是用于解释放射线检查装置的系统配置的示例的视图。

具体实施方式

(第一实施例)

将参照图1A-3B描述根据第一实施例的放射线成像装置1(本文 中以下简称为“装置1”)。