[发明专利]一种基于莫尔干涉的双远心镜头倍率测量方法

权利要求书

1.一种基于莫尔干涉的双远心镜头倍率测量方法，其特征是：在镜头倍率测量过程中， 光源通过光阑和准直镜后，入射到光栅G1上，平面波经过被测双远心镜头，然后成像到光 栅G2位置，两组光栅标记经过空间成像后重叠在一起形成莫尔条纹分布，最后被CCD采集 系统捕获传送到计算机进行图像处理，通过分析CCD所采集的莫尔条纹确定当前莫尔条纹 的周期大小，从而反演得到被测双远心镜头的倍率大小。

2.根据权利要求1所述的一种基于莫尔干涉的双远心镜头倍率测量方法，其特征是： 光栅G1经过一个双远心系统后，通过调节光栅G2的沿光轴方向的位置，在理想光学系统 前提下光栅G1可以成像与光栅G2完全重合。

3.根据权利要求1所述的一种基于莫尔干涉的双远心镜头倍率测量方法，其特征是： 所用的两个光栅G1和G2均是分为上下两个部分，并且拥有不同的周期；光栅G1的上半部 分周期大小为p₁，下半部分周期大小为p₂，照明光透过光栅G1后，再经过被测双远心镜头， 然后成像到光栅G2位置，光栅G2的上半部分周期大小为p₂，下半部分周期大小为p₁，光 栅G2可通过光栅G1倒置得到。

4.根据权利要求1所述的一种基于莫尔干涉的双远心镜头倍率测量方法，其特征是： 利用双远心镜头的倍率的不同大小，通过光栅G1和光栅G2形成的莫尔条纹，通过莫尔条 纹的放大作用，检测计算出莫尔条纹的周期大小即可反推双远心镜头系统实际倍率大小，获 得较高的精度。

5.根据权利要求1、2、3或4所述的一种基于莫尔干涉的双远心镜头倍率测量方法， 其特征是：莫尔条纹具有周期放大的功效，更容易测量出双远心镜头倍率的实际大小，但为 了满足高精度检测的要求，仍需要精确的相位解析精度，在莫尔条纹频域分析过程中，需要 从数字信号处理的角度分析各种误差的原因以及相应的补偿措施。

6.根据权利要求1、2、3或4所述的一种基于莫尔干涉的双远心镜头倍率测量方法， 其特征是：进行莫尔条纹周期测量过程中，误差波动都在10nm以内，通过一系列相位提取 及相位解析方式后，最后测定镜头系统的倍率精度可以达到0.1％。