[发明专利]取样量测系统及其取样量测方法

权利要求书

1.一种取样量测方法，其特征在于，包括：

获取批次在制品，并根据所述批次在制品获取所述批次在制品的量测信息；

基于所述批次在制品的量测信息，对所述批次在制品进行工艺风险评估，以判断所述批次在制品是否为高风险批次在制品；

在判断所述批次在制品是高风险批次在制品时，判断量测产能是否充足；

在判断所述量测产能充足时，采用预设的第一量测方案；

在判断所述量测产能不足时，采用预设的第二量测方案；

在判断所述批次在制品不是高风险批次在制品时，采用所述第二量测方案；

所述第一量测方案中取样率大于所述第二量测方案中的取样率。

2.如权利要求1所述的取样量测方法，其特征在于，获取所述批次在制品的步骤之前，所述取样量测方法还包括：获取并存储历史量测数据、历史异常数据以及暂存量测数据，所述历史异常数据包括异常发生次数和异常影响片数，所述暂存量测数据为预设数量批次在制品的量测数据。

3.如权利要求2所述的取样量测方法，其特征在于，所述量测信息包括影响因子触发信号、实时量测数据和关键工艺信息，对所述批次在制品进行工艺风险评估的步骤包括：

根据所述影响因子触发信号判断所述批次在制品的工艺流程中是否存在工艺影响因子，在所述批次在制品的工艺流程中存在工艺影响因子时，判断所述批次在制品为高风险批次在制品；

在所述批次在制品的工艺流程中不存在工艺影响因子时，根据历史量测数据、历史异常数据以及暂存量测数据，结合所述实时量测数据和关键工艺信息，评价所述批次在制品工艺流程的工艺能力，判断所述批次在制品是否为高风险批次在制品。

4.如权利要求3所述的取样量测方法，其特征在于，评价所述批次在制品工艺流程的工艺能力的步骤包括：

根据所述实时量测数据和暂存量测数据，获得实时工艺能力指数；

根据所述历史量测数据和历史异常数据，结合关键工艺信息，获得参考工艺能力指数；

比较所述实时工艺能力指数和参考工艺能力指数的相对大小，以评价所述批次在制品工艺流程的工艺能力。

5.如权利要求4所述的取样量测方法，其特征在于，获得参考工艺能力指数的步骤包括：

根据所述关键工艺信息，设定工艺权重因子，所述工艺权重因子用于表示与所述实时量测数据相对应的工艺是否为关键工艺；

根据所述异常发生次数，设定次数权重因子，所述次数权重因子用于表示所述批次在制品制造过程中发生异常情况的次数对所述工艺能力的影响；

根据所述异常影响片数，设定片数权重因子，所述片数权重因子用于表征所述批次在制品制造过程中异常情况发生影响晶圆片数对所述工艺能力的影响；

根据所述工艺权重因子、所述次数权重因子以及所述片数权重因子，获得工艺能力调整因子；

根据所述历史量测数据获得历史工艺能力指数；

根据所述工艺能力调整因子和所述历史工艺能力指数，获得参考工艺能力指数，所述参考工艺能力指数用于评价所述批次在制品工艺流程的工艺能力。

6.如权利要求1所述的取样量测方法，其特征在于，判断量测产能是否充足的步骤包括：

获取待量测的批次在制品的排队长度；

比较所述排队长度与产能预设值的相对大小；

在所述排队长度大于所述产能预设值时，判断所述量测产能不足；在所述排队长度小于所述产能预设值时，判断所述量测产能充足。

7.如权利要求2所述的取样量测方法，其特征在于，获取暂存量测数据的步骤包括：

设定暂存量测数据的批次数量；

对所述批次数量的批次在制品进行量测，获得实时量测数据，作为暂存量测数据。

8.如权利要求7所述的取样量测方法，其特征在于，所述取样量测方法用于对同类批次在制品进行取样量测；

对所述批次数量的批次在制品进行量测的步骤包括：对所述同类批次在制品最先的批次数量在制品进行逐个量测，以获得所述暂存量测数据。