[发明专利]压印装置及物品的制造方法

权利要求书

1.一种通过使用模具在基板上形成压印材料的图案的压印装置，所述压印装置包括：

台，其被构造为在保持所述基板的情况下能够沿底座的面移动；

驱动单元，其被构造为在所述台布置在所述底座的第一位置的状态下，相对地驱动所述模具和所述基板，以使所述模具与所述基板上的压印材料彼此接触，其中，布置在所述第一位置的所述台位于所述模具的下方；

测量单元，其被构造为在所述台布置在所述底座的与所述第一位置不同的第二位置的状态下，测量由所述台保持的所述基板的倾斜，其中布置在所述第二位置的台不位于所述模具的下方；以及

控制单元，其被构造为当在所述台布置在所述第一位置的状态下使所述模具与所述压印材料接触时，基于表示在所述第一位置的所述基板的倾斜与在所述第二位置的所述基板的倾斜之间的差的信息，以及所述测量单元的测量结果，来控制所述模具与所述基板之间的相对倾斜。

2.根据权利要求1所述的压印装置，其中，所述控制单元基于通过使所述模具与所述基板上的多个点中的各个点接触而获得的所述多个点的高度，来确定在所述台布置在所述第一位置的状态下所述基板的倾斜，并且

基于在所述台布置在所述第一位置的状态下所确定的所述基板的倾斜和在所述台布置在所述第二位置的状态下由所述测量单元测量的所述基板的倾斜，来生成所述信息。

3.根据权利要求2所述的压印装置，其中，所述控制单元基于通过使所述驱动单元相对地驱动所述模具和所述基板以使所述模具与所述基板上的多个点中的各个点接触而获得的移动量，来获得所述多个点的高度。

4.根据权利要求1所述的压印装置，其中，所述测量单元通过在所述台布置在所述第二位置的状态下，检测所述基板上的多个点中的各个点的高度，来测量所述基板的倾斜。

5.根据权利要求1所述的压印装置，其中，所述控制单元将在所述第一位置的所述基板的倾斜与由所述测量单元在所述第二位置测量的所述基板的倾斜之间的差确定为校正值，并且

基于通过使用所述校正值校正所述测量单元的测量结果而获得的值，来控制当在所述台布置在所述第一位置的状态下使所述模具与所述压印材料接触时的相对倾斜。

6.根据权利要求5所述的压印装置，其中，所述控制单元根据所述基板上的位置，来确定所述校正值。

7.根据权利要求5所述的压印装置，其中，所述控制单元通过使用包括多个基板的批量的第一基板，来确定所述校正值。

8.根据权利要求1所述的压印装置，所述压印装置还包括：

第二测量单元，其被构造为测量所述模具的图案面的倾斜，

其中，所述控制单元还基于由所述第二测量单元获得的测量结果，来控制当在所述台布置在所述第一位置的状态下使所述模具与所述压印材料接触时的相对倾斜。

9.根据权利要求8所述的压印装置，

其中，所述第二测量单元配设在所述台上，并且通过在被所述台移动的状态下检测所述图案面上的多个部分中的各个的高度，来测量所述图案面的倾斜。

10.一种通过使用模具在基板上形成压印材料的图案的压印装置，所述压印装置包括：

驱动单元，其被构造为相对地驱动所述模具和所述基板，以使所述模具与所述基板彼此接触，

控制单元，其被构造为：

基于通过使所述驱动单元相对地驱动所述模具和所述基板以使所述模具与所述基板上的多个点中的各个点接触而获得的驱动量，来获得所述基板上的多个点的高度，并且

基于获得的高度来控制当使所述模具与所述压印材料接触时的所述基板的倾斜。

11.一种物品的制造方法，所述物品的制造方法包括以下步骤：

使用压印装置在基板上形成图案；以及

对形成有所述图案的所述基板进行处理以制造所述物品，

其中，所述压印装置通过使用模具在基板上形成压印材料的图案，并且所述压印装置包括：

台，其被构造为在保持所述基板的情况下能够沿底座的面移动；

驱动单元，其被构造为在所述台布置在所述底座的第一位置的状态下，相对地驱动所述模具和所述基板，以使所述模具与所述基板上的压印材料彼此接触，其中，布置在所述第一位置的所述台位于所述模具的下方；

测量单元，其被构造为在所述台布置在所述底座的与所述第一位置不同的第二位置的状态下，测量由所述台保持的所述基板的倾斜，其中布置在所述第二位置的台不位于所述模具的下方；以及

控制单元，其被构造为当在所述台布置在所述第一位置的状态下使所述模具与所述压印材料接触时，基于表示在所述第一位置的所述基板的倾斜与在所述第二位置的所述基板的倾斜之间的差的信息，以及所述测量单元的测量结果，来控制所述模具与所述基板之间的相对倾斜。