[发明专利]制造显示装置的设备有效
申请号: | 201610011946.7 | 申请日: | 2016-01-08 |
公开(公告)号: | CN105895568B | 公开(公告)日: | 2021-03-09 |
发明(设计)人: | 车裕敏;尹相皓;朱星中 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 王占杰 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制造 显示装置 设备 | ||
公开了一种用于制造显示装置的设备,所述设备包括:装载室,构造成从外部接收基板;传送室,连接到装载室并且包括构造成输送基板的机械手臂;沉积室,连接到传送室并且构造成在基板从传送室输送到沉积室之后将沉积材料沉积到基板上;掩模供给室,连接到沉积室并构造成向沉积室供给堆叠在掩模供给室中的多个掩模中的一个;以及站,连接到掩模供给室并且构造成向掩模供给室逐个地供给所述多个掩模。
本申请要求于2015年2月16日在韩国知识产权局提交的第10-2015-0023148号韩国专利申请的优先权和权益,所述申请的公开内容通过引用全部包含于此。
技术领域
一个或更多个示例性实施例的方面涉及一种用于制造显示装置的设备。
背景技术
包括显示面板的电子装置被广泛使用。诸如移动电话的小型装置和平板PC近来被广泛地用作电子装置。另外,TV和监视器是通常使用的电子装置。
为了支持各种功能,电子装置包括用于向用户显示诸如图像的视觉信息的显示单元。近来,随着用于驱动显示单元的其他部件已经被小型化,电子装置中的被显示单元占据的区域已经逐渐增大。因此,已经开发了可从平坦状态改变成结构在预定角度下弯曲的状态的结构。
发明内容
附加的方面将在随后的描述中被部分地阐述,并且通过描述部分地将是明显的,或者可通过提供的实施例的实践来了解。
根据一个或更多个示例性实施例,提供了一种用于制造显示装置的设备,所述设备包括:装载室,构造成从外部接收基板;传送室,连接到装载室并且包括构造成输送基板的机械手臂;沉积室,连接到传送室并且构造成在基板从传送室输送到沉积室之后将沉积材料沉积到基板上;掩模供给室,连接到沉积室并构造成向沉积室供给堆叠在掩模供给室中的多个掩模中的一个;以及站,连接到掩模供给室并且构造成向掩模供给室逐个地供给所述多个掩模。
在实施例中,传送室包括:第一传送室;以及第二传送室,与第一传送室分隔开并且经由连接室连接到第一传送室,其中,沉积室包括:第一沉积室,连接到第一传送室;以及第二沉积室,连接到第二传送室并且与第一沉积室分隔开。
在实施例中,掩模供给室包括:第一掩模供给室,连接到第一沉积室;以及第二掩模供给室,连接到第二沉积室。
在实施例中,掩模供给室连接到第一沉积室和第二沉积室两者。
在实施例中,掩模供给室包括构造成支承所述多个掩模并且构造成向上和向下移动的第二匣盒。
在实施例中,站包括:站室,在其中具有空间;第一匣盒,构造成接收所述多个掩模,第一匣盒在站室中;以及第一匣盒移动器,在站室中并且构造成移动第一匣盒。
在实施例中,掩模供给室包括构造成接收所述多个掩模的梭,并且构造成输送装载在其上的所述多个掩模中的一个。
在实施例中,梭构造成移动到掩模供给室和沉积室中。
在实施例中,设备还包括在掩模供给室中的第一掩模移动器,其中,第一掩模移动器构造成将所述多个掩模中的一个从站输送到掩模供给室或者将所述多个掩模中的一个从掩模供给室输送到站。
在实施例中,掩模供给室中的压力在大气压与真空状态下的压力之间变化。
附图说明
通过下面结合附图对示例性实施例的描述,这些和/或其他方面将变得明显和更容易理解,在附图中:
图1是示出根据示例性实施例的用于制造显示装置的设备的概念图;
图2是示出根据示例性实施例的图1的掩模供给室和站的概念图;
图3是示出根据示例性实施例的通过使用图1的设备制造的显示装置的部分的剖视图。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造