[发明专利]TFT结构及其修复方法、GOA电路在审
申请号: | 201610018659.9 | 申请日: | 2016-01-12 |
公开(公告)号: | CN105632439A | 公开(公告)日: | 2016-06-01 |
发明(设计)人: | 阙祥灯 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G09G3/36 | 分类号: | G09G3/36;H01L29/786;H01L29/417 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | tft 结构 及其 修复 方法 goa 电路 | ||
1.一种TFT结构,其特征在于,包括:源极(10)、与所述源极(10)相 对设置的漏极(20)、以及设于源极(10)和漏极(20)下方或上方的与所述 源极(10)和漏极(20)相互绝缘的栅极;
所述源极(10)包括多个沿第一方向间隔排列的独立U形源极分支(101), 所述漏极(20)包括多个沿第一方向间隔排列的条状漏极分支(201);
一条状漏极分支(201)对应设于一独立U形源极分支(101)的开口内;
每一独立U形源极分支(101)各通过一连接部(103)单独连接至第一金 属线(30);所述多个条状漏极分支(201)均电性连接至第二金属线(40)。
2.如权利要求1所述的TFT结构,其特征在于,每一独立U形源极分支(101) 均包括沿第一方向延伸的横部(1011)、及垂直连接于所述横部(1011)的两 端的两纵部(1012)。
3.如权利要求2所述的TFT结构,其特征在于,每一连接部(103)由对 应的独立U形源极分支(101)的横部(1011)引出,并延伸至第一金属线(30), 实现每一独立U形源极分支(101)与第一金属线(30)的单独连接。
4.如权利要求2所述的TFT结构,其特征在于,所述条状漏极分支(201) 平行于所述独立U形源极分支(101)的纵部(1012)。
5.如权利要求1所述的TFT结构,其特征在于,还包括设于所述源极(10) 和漏极(20)下方的有源层。
6.一种TFT修复方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤1、提供一TFT,包括:源极(10)、与所述源极(10)相对设置的漏 极(20)、以及设于源极(10)和漏极(20)下方或上方的与所述源极(10) 和漏极(20)相互绝缘的栅极;
所述源极(10)包括多个沿第一方向间隔排列的独立U形源极分支(101), 所述漏极(20)包括多个沿第一方向间隔排列的条状漏极分支(201);
一条状漏极分支(201)对应设于一独立U形源极分支(101)的开口内;
每一独立U形源极分支(101)各通过一连接部(103)单独连接至第一金 属线(30);所述多个条状漏极分支(201)均电性连接至第二金属线(40);
步骤2、检测所述TFT中各个独立U形源极分支(101)及其对应的条状漏 极分支(201)是否存在缺陷,找到存在缺陷的独立U形源极分支(101)及其 对应的条状漏极分支(201);
步骤3、切断存在缺陷的独立U形源极分支(101)与第一金属线(30)之 间的连接,切断对应的条状漏极分支(201)与第二金属线(40)之间的连接。
7.如权利要求6所述的TFT修复方法,其特征在于,每一独立U形源极分 支(101)均包括沿第一方向延伸的横部(1011)、及垂直连接于所述横部(1011) 的两端的两纵部(1012);
所述条状漏极分支(201)平行于所述独立U形源极分支(101)的纵部 (1012)。
8.如权利要求7所述的TFT修复方法,其特征在于,每一连接部(103) 由对应的独立U形源极分支(101)的横部(1011)引出,并延伸至第一金属 线(30),实现每一独立U形源极分支(101)与第一金属线(30)的单独连接;
所述步骤3通过切断相应的连接部(103)来切断存在缺陷的U形源极分支 (101)与第一金属线(30)之间的连接。
9.如权利要求6所述的TFT修复方法,其特征在于,所述源极(10)和漏 极(20)的下方还设有有源层。
10.一种GOA电路,其特征在于,包括如权利要求1-5任一所述的TFT结 构。
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