[发明专利]一种激光脉冲延时系统和激光退火系统

权利要求书

1.一种激光脉冲延时系统，其特征在于，包括：设置在激光光束的传输光路上的分光单元、第一反射单元和延时单元，其中，

所述分光单元，用于将激光器发射的激光光束进行分光，分成第一基准光和第二基准光，并将所述第一基准光传输至所述第一反射单元，以及将所述第二基准光传输至所述延时单元；

所述第一反射单元，用于将接收到的所述第一基准光反射至待照射的部件；

所述延时单元，用于将接收到的所述第二基准光进行延时后，传输至所述待照射的部件；

其中，在一个激光脉冲周期内，照射到所述待照射的部件上的激光光束的总脉冲时长大于所述激光器发射的激光光束的脉冲时长。

2.如权利要求1所述的延时系统，其特征在于，所述分光单元为半透半反镜。

3.如权利要求2所述的延时系统，其特征在于，所述第一基准光和所述第二基准光的传输光路互相垂直。

4.如权利要求2所述的延时系统，其特征在于，所述第一基准光为所述激光光束经过所述半透半反镜后生成的反射光，所述第二基准光为所述激光光束经过所述半透半反镜后生成的透射光；或，

所述第一基准光为所述激光光束经过所述半透半反镜后生成的透射光，所述第二基准光为所述激光光束经过所述半透半反镜后生成的反射光。

5.如权利要求1所述的延时系统，其特征在于，所述第一反射单元为反射镜；

所述分光单元，具体用于将接收到的经过所述反射镜反射后的第一基准光进行透射后，传输至所述待照射的部件。

6.如权利要求1-5任一项所述的延时系统，其特征在于，所述延时单元包括：第二反射单元、以及驱动所述第二反射单元按照周期性轨迹转动的驱动单元；

其中，所述第二反射单元具有开口、以及能够使所述第二基准光在所述第二反射单元内部进行反射的反射面；

所述第二反射单元的开口，用于入射所述第二基准光，并在驱动单元驱动所述第二反射单元的开口转动到同一位置时，将在所述第二反射单元中经过反射延时后的第二基准光出射至所述分光单元；

所述分光单元，具体用于将接收到的所述经过反射延时后的第二基准光进行透射后，传输至所述待照射的部件。

7.如权利要求6所述的延时系统，其特征在于，所述开口区域的面积不小于所述激光光束的光斑面积。

8.如权利要求6所述的延时系统，其特征在于，所述第二反射单元内部设置有填充物。

9.如权利要求8所述的延时系统，其特征在于，所述填充物为水、透明的液体溶剂或透明的固体。

10.如权利要求8所述的延时系统，其特征在于，所述第二反射单元的反射面的形状为圆形。

11.如权利要求10所述的延时系统，其特征在于，所述第二反射单元的转动周期为4rnk/c；其中k为偶数，c为光在真空中的运动速度，n为所述填充物的折射率，r为所述第二反射单元的半径。

12.一种激光退火系统，其特征在于，包括：用于发射激光光束的激光器、设置在激光光束的传输光路上的如权利要求1-11任一项所述的激光脉冲延时系统、以及设置在所述激光脉冲延时系统的出光路径上需要进行激光退火处理的基板。