[发明专利]基板清洗方法

权利要求书

1.一种基板清洗方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1、提供一基板(10)，采用水溶液对所述基板(10)进行清洗，以去除基板(10)上的污染物；

步骤2、提供第二干燥装置，所述第二干燥装置包括对基板(10)进行传送的传送轮、以及对基板(10)上残留的清洗水进行清除的传统风刀装置(40)与调频风刀装置(70)；

所述传统风刀装置(40)包括在基板(10)的传送过程中对应于所述基板(10)上方的第一风刀单元(51)以及对应于所述基板(10)下方的第二风刀单元(52)，所述第一风刀单元(51)与第二风刀单元(52)均包括沿水平方向设置的数个风刀(55)，在干燥过程中所述传统风刀装置(40)中的所有风刀(55)同时开启，且在干燥过程中一直保持喷气状态；

所述调频风刀装置(70)包括在基板(10)的传送过程中对应于所述基板(10)上方的第三风刀单元(80)以及对应于所述基板(10)下方的第四风刀单元(90)，所述第三风刀单元(80)与第四风刀单元(90)均包括沿水平方向设置的数个风刀(95)，在干燥过程中，所述调频风刀装置(70)中的每个风刀(95)的开启和关闭可以独立进行控制，且每个风刀(95)的气流量和喷气频率可以独立进行调整；

步骤3、将待干燥的基板(10)送入所述第二干燥装置中，所述基板(10)依次经过所述调频风刀装置(70)与传统风刀装置(40)，从而所述基板(10)在传送过程中首先采用所述调频风刀装置(70)对基板(10)上残留的清洗水进行初步吹干，然后采用所述传统风刀装置(40)对基板(10)上的残留水渍进行彻底吹干。

2.如权利要求1所述的基板清洗方法，其特征在于，所述传统风刀装置(40)中的所有风刀(55)的气流量需要统一进行调整，从而大小相同。

3.如权利要求1所述的基板清洗方法，其特征在于，所述第三风刀单元(80)与第四风刀单元(90)均包括沿水平方向设置的9个风刀(95)，分别为第一风刀(1)、第二风刀(2)、第三风刀(3)、第四风刀(4)、第五风刀(5)、第六风刀(6)、第七风刀(7)、第八风刀(8)和第九风刀(9)；在干燥过程中，所述第三风刀单元(80)与第四风刀单元(90)按照相同的模式运行，所述运行模式为以下三种模式中的任意一种：

模式Ⅰ：在干燥过程中所述第一至第九风刀(1-9)同时开启，且所述第一至第九风刀(1-9)的气流量和喷气频率相同；

模式Ⅱ：将第一风刀(1)、第三风刀(3)、第五风刀(5)、第七风刀(7)、第九风刀(9)设为第一风刀组，将第二风刀(2)、第四风刀(4)、第六风刀(6)、第八风刀(8)设为第二风刀组，在干燥过程中将第一风刀组与第二风刀组间隔开启，且两风刀组的气流量和喷气频率相同；

模式Ⅲ：将第一风刀(1)、第三风刀(3)、第五风刀(5)、第七风刀(7)、第九风刀(9)设为第一风刀组，将第二风刀(2)、第四风刀(4)、第六风刀(6)、第八风刀(8)设为第二风刀组，在干燥过程中将第一风刀组与第二风刀组间隔开启，且两风刀组的喷气频率相同，气流量不同。

4.如权利要求1所述的基板清洗方法，其特征在于，所述步骤3中，将所述基板(10)的行进方向设置为水平方向，或者通过调节所述传送轮的高度，将所述基板(10)的行进方向设置为与水平方向之间呈±θ夹角的倾斜方向。

5.如权利要求4所述的基板清洗方法，其特征在于，所述θ的范围为0-15°。

6.如权利要求4所述的基板清洗方法，其特征在于，所述步骤3中，当所述基板(10)的行进方向为与水平方向之间呈±θ夹角的倾斜方向时，在基板(10)的干燥过程中，所述调频风刀装置(70)中的所有风刀(95)与所述传统风刀装置(40)中的所有风刀(55)的喷气方向为朝向所述基板(10)向下倾斜的一侧。