[发明专利]触摸面板以及其制造方法

权利要求书

1.一种触摸面板，其包括：

基板；

第一金属层，位于所述基板上，用来形成薄膜晶体管的栅极；

栅级绝缘层，位于所述第一金属层上；

其特征在于，所述阵列基板另包含：

第二金属层，位于所述栅级绝缘层上，用来形成触控控制线、所述薄膜 晶体管的源极和漏极，所述触控控制线用于传送触控信号以及公共电压；

隔离层，位于所述第二金属层上，并设置贯穿所述隔离层的第一通孔和 第二通孔，所述第一通孔对准所述源极或漏极，所述第二通孔对准所述触控 控制线；

像素电极层，通过所述第一通孔与所述源极或漏极连接；

触控电极层，通过所述第二通孔与所述触控控制线连接，

其中，所述触控电极层同时作为公共电极层。

2.根据权利要求1所述的触摸面板，其特征在于，所述像素电极层和所 述触控电极层是由一导电层同时所形成。

3.根据权利要求2所述的触摸面板，其特征在于，所述导电层是氧化铟 锡或是金属构成。

4.根据权利要求1所述的触摸面板，其特征在于，所述第二金属层还包 括数据线，所述数据线用来通过所述薄膜晶体管传递数据电压至所述像素电 极层。

5.根据权利要求4所述的触摸面板，其特征在于，当所述触控控制线传 送所述公共电压至所述触控电极层时，所述数据线用来通过所述薄膜晶体管 传递数据电压至所述像素电极层。

6.根据权利要求4所述的触摸面板，其特征在于，当所述触控控制线传 送所述触控信号至所述触控电极层时，所述数据线停止通过所述薄膜晶体管 传递数据电压至所述像素电极层。

7.一种制造触摸面板的方法，其包括：

形成第一金属层于基板上；

蚀刻所述第一金属层以形成薄膜晶体管的栅极；

形成栅级绝缘层于所述薄膜晶体管的栅极上；

形成第二金属层于所述栅级绝缘层上；

蚀刻所述第二金属层以形成触控控制线、所述薄膜晶体管的源极和漏极；

形成隔离层于所述触控控制线、所述薄膜晶体管的源极和漏极之上；

蚀刻所述隔离层以形成贯穿所述隔离层的第一通孔和第二通孔，所述第 一通孔对准所述源极或漏极，所述第二通孔对准所述触控控制线；

沉积导电层于所述隔离层、所述触控控制线、所述源极或漏极上；以及

蚀刻所述导电层以形成像素电极层和触控电极层，所述像素电极层通过 所述第一通孔与所述源极或漏极连接，所述触控电极层通过所述第二通孔与 所述触控控制线连接，其中，所述触控电极层同时作为所述阵列基板的公共 电极层。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述导电层是氧化铟锡或 是金属构成。

9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，蚀刻所述第二金属层以形 成触控控制线、所述薄膜晶体管的源极和漏极的步骤包含：蚀刻所述第二金 属层以形成数据线，所述数据线用来通过所述薄膜晶体管传递数据电压至所 述像素电极层。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，在形成所述第二金属层 于所述栅级绝缘层上的步骤之前，所述方法另包含：

形成非晶硅层于所述栅级绝缘层上；及

蚀刻所述非晶硅层以形成所述薄膜晶体管的半导体层。