[发明专利]照明光学部件、照明系统、投射曝光设备及组件制造方法

权利要求书

1.用于光刻投射曝光的照明光学部件(7；28)，用于具有小于193nm的波长的照明光(3)的光束从辐射源(2)向物平面(5)中的物场(4)中的物体(12)的无分束器引导，所述物体(12)对于所述照明光(3)是反射式的，在所述物场(4)之前的照明光路中的最后反射镜(38)包含通孔(40),

其特征在于其被设计为使得对于所述物场(4)的至少一个点，所述照明光(3)的光束至所述物场(4)的能量加权光线的入射方向(13)与所述物平面(5)的法线(14)构成小于3°的角度。

2.根据权利要求1所述的照明光学部件，其特征在于：所述照明光(3)的光束至所述物场(4)的最大入射角小于10°。

3.根据权利要求1所述的照明光学部件，其特征在于：所述照明光学部件(7)的第一个反射镜(9)相对于所述照明光(3)的中间聚焦点(8)布置为使得所述中间聚焦点(8)和所述照明光学部件(7)的所述第一个反射镜(9)之间的所述照明光(3)的光路基本与所述物场(4)下游的所述照明光(3)的光路平行。

4.根据权利要求1所述的照明光学部件，其特征在于：所述照明光学部件(28)的第一个反射镜(29)相对于所述照明光(3)的中间聚焦点(8)布置为使得所述中间聚焦点(8)和所述照明光学部件(28)的所述第一个反射镜(29)之间的所述照明光(3)的光路与所述物场(4)下游的所述照明光(3)的光束引导垂直。

5.根据权利要求4所述的照明光学部件(28)，其特征在于：所述中间聚焦点(8)和所述照明光学部件(28)的所述第一个反射镜(29)之间的部分成像光束与所述成像光(3)的光束交叉。

6.根据权利要求1所述的照明光学部件，其特征在于：所述物平面(5)的法线(14)与所述照明光(3)的能量加权光线的入射方向(13)一致。

7.照明系统，包含：

用于光刻投射曝光的成像光学部件(16；31；37)，用于通过多个反射镜(M1至M6)引导具有小于193nm的波长的成像光(3)的光束，以进行物平面(5)中的物场(4)中的反射式物体(12)向像平面(18)中的像场(17)的无分束器成像，其中，物场点具有小于3°的主光线角(α)，并且所述反射镜(M1至M6)中的至少一个被设计为近场反射镜；

根据权利要求1或2所述的照明光学部件(7；28)。

8.根据权利要求7所述的照明系统，其特征在于：所述照明光学部件(7；28)的耦合反射镜(11)经由通孔(22)将所述照明光(3)耦合入所述成像光学部件(16；31；37)的反射镜中的一个(M2)。

9.根据权利要求7所述的照明系统，其特征在于：所述照明光学部件(7；28)的耦合反射镜(38)包含所述成像光(3’)在所述成像光学部件的成像光路中通过的通孔(40)。

10.根据权利要求7所述的照明系统，其特征在于：在成像光(3)的光束内部的自由区域(23)中布置所述照明光学部件(7；28)的耦合反射镜(11)。

11.根据权利要求7所述的照明系统，其特征在于：耦合反射镜(11)具有环形反射表面(39)。

12.投射曝光设备(1)，包含：

根据权利要求7至11中的一项所述的照明系统；

用于产生所述照明和成像光(3)的光源(2)。

13.制造结构化组件的方法，所述方法包含以下步骤：

设置掩模母版(12)和晶片(19)；

通过根据权利要求12的投射曝光设备(1)，将所述掩模母版(12)上的结构投射至所述晶片(19)的光敏层上；

在所述晶片(19)上产生微结构或纳米结构。