[发明专利]基板贴合方法及贴合单元有效
| 申请号： | 201610039169.7 | 申请日： | 2012-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN105711228B | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 黄载锡 | 申请（专利权）人： | 盐城三笑餐饮有限公司 |
| 主分类号： | B32B37/10 | 分类号： | B32B37/10 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 224000 江苏省盐城市城南新区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 贴合 方法 单元 | ||
【权利要求书】：
1.一种基板贴合方法，其特征在于，包括如下步骤：
a)准备加工基板及运送用基板；
将加工基板搬入到加工基板投入单元，之后，将加工基板切割成规定尺寸，然后移送到清洗单元进行清洗作业，经清洗的加工基板被移送到第一卸载单元；运送用基板被搬入到加工基板投入单元后移送到第二卸载单元上，第一移送单元将第一卸载单元上的加工基板移送到翻转单元后翻转加工基板；
b)将所述加工基板及所述运送用基板移送到贴合单元；
c)在所述贴合单元形成真空状态之后，贴合所述加工基板与所述运送用基板时，不使用粘合材料，由多个贴合力施加装置分别控制所产生的贴合力，由此，能够按基板位置调节贴合力。
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