[发明专利]一种实时检测洁净设备内颗粒含量的系统

权利要求书

1.一种实时检测洁净设备内颗粒含量的系统，其特征在于，包括：

洁净设备；

取样件，其设置在所述洁净设备的内部，用于采集所述洁净设备内的气体样品；

测量仪，其设置在所述洁净设备的外部，用于对所述取样件采集的所述气体样品进行检测，以得知所述洁净设备内的颗粒含量；

导管，其一端连接所述取样件，另一端连接所述测量仪，用于将所述取样件采集的所述气体样品导出至所述测量仪内。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述洁净设备设置有第一开孔，所述导管贯穿所述第一开孔，以连接所述洁净设备内部的所述取样件和所述洁净设备外部的所述测量仪。

3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述第一开孔进一步配备有第一孔塞，所述导管包括：

第一部分导管，其一端连接所述取样件，另一端连接所述第一开孔的一端，以将所述取样件采集的所述气体样品导出所述洁净设备；

第二部分导管，其一端连接所述第一开孔的另一端，另一端连接所述测量仪，以将所述第一部分导管导出的所述气体样品导入所述测量仪内。

4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，

所述测量仪设置有第二开孔，所述导管通过所述第二开孔将所述取样件采集的所述气体样品导出至所述测量仪内。

5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，

所述导管连接至所述测量仪的一端设置有第二孔塞，所述导管通过所述第二孔塞塞入所述第二开孔内。

6.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，

所述系统进一步包括：

阀门，其设置在所述导管上，用于控制所述气体样品的流向为单向，以使得所述气体样品从所述洁净设备内部流向所述洁净设备外部的所述测量仪。

7.根据权利要求6所述的系统，其特征在于，

所述阀门设置在所述导管与所述取样件连接的位置。

8.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，

所述取样件设置的高度与所述洁净设备的轧制线高度一致。

9.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，

所述取样件的数量为偶数，且所述取样件间隔设置在所述洁净设备内。

10.根据权利要求9所述的系统，其特征在于，

所述取样件的数量为四个。