[发明专利]一种实时检测洁净设备内颗粒含量的系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种颗粒含量检测技术领域，尤其涉及一种实时检测洁净设备内颗粒含量的系统。

背景技术

众所周知，在半导体行业中，产品及设备均会受到所处的气体环境中颗粒含量的影响，因此除了要检测制造大环境中的颗粒含量值，还需对设备内的颗粒含量值进行检测。现有技术中，在检测设备内的颗粒含量值时，通常需要将设备进行停机检测，或打开设备安全门，将联锁解除以及将粒子计数器的取样头放入设备内进行检测，如此就会使得在操作过程中的颗粒含量值不准确、具有一定的风险，且影响产品的产能及良率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种实时检测洁净设备内颗粒含量的系统，以保证既能实现将所述测量仪置于所述洁净设备外进行检测，又能实现在洁净设备不需停机的情况下实时检测所述洁净设备内的颗粒含量。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：一种实时检测洁净设备内颗粒含量的系统，包括：

洁净设备；

取样件，其设置在所述洁净设备的内部，用于采集所述洁净设备内的气体样品；

测量仪，其设置在所述洁净设备的外部，用于对所述取样件30采集的所述气体样品进行检测，以得知所述洁净设备内的颗粒含量；

导管，其一端连接所述取样件，另一端连接所述测量仪，用于将所述取样件采集的所述气体样品导出至所述测量仪内。

其中，所述洁净设备设置有第一开孔，所述导管贯穿所述第一开孔，以连接所述洁净设备内部的所述取样件和所述洁净设备外部的所述测量仪。

其中，所述第一开孔进一步配备有第一孔塞，所述导管包括：

第一部分导管，其一端连接所述取样件，另一端连接所述第一开孔的一端，以将所述取样件采集的所述气体样品导出所述洁净设备；

第二部分导管，其一端连接所述第一开孔的另一端，另一端连接所述测量仪，以将所述第一部分导管导出的所述气体样品导入所述测量仪内。

其中，所述测量仪设置有第二开孔，所述导管通过所述第二开孔将所述取样件采集的所述气体样品导出至所述测量仪内。

其中，所述导管连接至所述测量仪的一端设置有第二孔塞，所述导管通过所述第二孔塞塞入所述第二开孔内。

其中，所述系统进一步包括：

阀门，其设置在所述导管上，用于控制所述气体样品的流向为单向，以使得所述气体样品从所述洁净设备内部流向所述洁净设备外部的所述测量仪。

其中，所述阀门设置在所述导管与所述取样件连接的位置。

其中，所述取样件设置的高度与所述洁净设备的轧制线高度一致。

其中，所述取样件的数量为偶数，且所述取样件间隔设置在所述洁净设备内。

其中，所述取样件的数量为四个。

本发明的有益效果是：区别于现有技术的情况，本发明将所述测量仪放置于所述洁净设备外，通过导管将所述取样件所采集的气体样品输送至所述测量仪中，如此，所述洁净设备无需停机就可以实时检测所述洁净设备的颗粒含量，操作简单，提高生产效率。

附图说明

图1是本发明实时检测洁净设备内颗粒含量的系统的结构示意图。

具体实施方式

请参阅图1，本发明一种实时检测洁净设备内颗粒含量的系统100，包括：洁净设备10、取样件30、测量仪50及导管70。

所述洁净设备10用于放置待加工的产品。

可以理解，所述洁净设备10为可整体移动的小型洁净室，以满足制造工艺中对气体中颗粒含量值的需求。

所述取样件30设置在所述洁净设备10的内部，用于采集所述洁净设备10内的气体样品。

在一实施方式中，所述取样件30为量杯，即标准取样头。当然，所述取样件30还可以是其它形式或形状，例如，可以是漏斗形，等等。

可以理解，所述取样件30设置的高度与所述洁净设备10的轧制线高度一致，以使得所述取样件30所采集的气体样品的颗粒含量值更加接近于所述待加工的产品所处的气体环境的颗粒含量值。

可以理解，所述取样件30的数量为偶数，且所述取样件30间隔设置在所述洁净设备10内。通过这种方式，可以使得取样均匀。

在本实施方式中，所述取样件30的数量为四个。

在满足能够均匀取样的情况下，取样件30的数量并不限定为偶数，例如，将奇数数量的取样件30均匀布置于洁净设备内，也是可以的。

可以理解，所述取样件30的数量可根据需求进行设置。

可以理解，所述取样件30的设置位置可根据需求进行调整。