[发明专利]一种金属有机物化学气相沉积设备的中央支柱有效
| 申请号： | 201610045732.1 | 申请日： | 2016-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN105463411B | 公开（公告）日： | 2018-12-25 |
| 发明（设计）人： | 冯雅清 | 申请（专利权）人： | 冯雅清 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455;C23C16/18 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人： | 唐燕洁 |
| 地址： | 200135 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 金属 有机物 化学 沉积 设备 中央 支柱 | ||
【权利要求书】：
1.一种金属有机物化学气相沉积设备的中央支柱，包括中央支柱体(1)、导流螺杆(2)、O型圈(3)、反应腔顶盖(4)、进水管(5)、出水管(6)、上盖(7)、排气窗(8)和反应腔底座(10)，其特征在于，所述中央支柱体(1)外套有隔热外套(9)；
所述隔热外套(9)的底部抵接于反应腔底座(10)，其顶部与反应腔顶盖(4)之间留有间隙。
2.根据权利要求1所述的一种金属有机物化学气相沉积设备的中央支柱，其特征在于，所述隔热外套(9)与中央支柱体(1)之间留有间隙。
3.根据权利要求2所述的一种金属有机物化学气相沉积设备的中央支柱，其特征在于，所述隔热外套(9)与中央支柱体(1)之间的间隙为0.1mm-2mm之间。
4.根据权利要求1所述的一种金属有机物化学气相沉积设备的中央支柱，其特征在于，所述隔热外套(9)由耐高温耐腐蚀的无机或金属材料制成。
5.根据权利要求1所述的一种金属有机物化学气相沉积设备的中央支柱，其特征在于，所述隔热外套(9)的壁厚为0.5mm-5mm之间。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
