[发明专利]铜选择性蚀刻液和钛选择性蚀刻液

权利要求书

1.一种铜选择性蚀刻液，包括氧化剂和水，其特征在于还包括草酸盐 和氨基羧酸，所述铜选择性蚀刻液pH值为6.0～8.5；优选地，所述铜选择性 蚀刻液由铜氧化液和铜螯合液组成，所述铜氧化液包括所述氧化剂和/或所 述水，所述铜螯合液包括所述草酸盐、所述氨基羧酸和所述水。

2.如权利要求1所述的铜选择性蚀刻液，其特征在于，所述氧化剂为 过硫酸盐或过氧化氢，优选过氧化氢，所述氧化剂占所述铜选择性蚀刻液总 重量的0.1～15％，优选0.2～10％，更优选0.5～5％，最优选1.5％；所述铜氧 化液与所述铜螯合液体积比为1:200～5:200。

3.如权利要求1所述的铜选择性蚀刻液，其特征在于，所述草酸盐为 草酸铵、草酸钠和/或草酸钾，所述草酸盐占所述铜选择性蚀刻液总重量的 0.02～7.5％，优选0.05～5.0％，更优选1.5～4％，最优选3.0％；所述氨基羧酸 为甘氨酸、丙氨酸、缬氨酸和/或异亮氨酸，优选甘氨酸，所述氨基羧酸占 所述铜选择性蚀刻液总重量的0.1～25％，优选0.5～20％，更优选0.75～10％， 最优选5.0％。

4.如权利要求1所述的铜选择性蚀刻液，其特征在于，所述铜螯合液 还含有表面活性剂和/或铜蚀刻液pH调整剂；所述表面活性剂优选非离子表 面活性剂聚氧丙烯聚氧乙烯醚；所述表面活性剂占所述铜选择性蚀刻液总重 量的0.001～1％，优选0.01～0.5％；所述铜选择性蚀刻液pH值为6.5～8.0，优 选7.0。

5.一种钛选择性蚀刻液，其包括过氧化氢和水，其特征在于还包括亚 磷酸螯合剂、铜防腐蚀剂和无机碱，所述钛选择性蚀刻液pH值为7～10；优 选地，所述钛选择性蚀刻液由钛氧化液和钛螯合液组成，所述钛氧化液包括 所述过氧化氢和/或所述水，所述钛螯合液包括所述亚磷酸螯合剂、所述铜 防腐蚀剂、所述无机碱和所述水。

6.如权利要求5所述的钛选择性蚀刻液，其特征在于，过氧化氢占所 述钛选择性蚀刻液总重量的10～35％，优选15～30％，更优选20～25％，最优 选24.5％；所述钛氧化液与所述钛螯合液体积比为1:10～10:1。

7.如权利要求5所述的钛选择性蚀刻液，其特征在于，所述亚磷酸螯 合剂为1-羟基乙烷-1,1'-二磷酸、1-羟基亚丙基-1,1'-二磷酸、1-羟基亚丁基 -1,1'-二磷酸、乙二胺(四亚甲基膦酸)和/或氨基三亚甲基膦酸，优选1-羟 基乙烷-1,1'-二磷酸和/或乙二胺(四亚甲基膦酸)；所述亚磷酸螯合剂占所 述钛选择性蚀刻液总重量的0.1～3％，优选0.2～1.5％，更优选0.5％。

8.如权利要求5所述的钛选择性蚀刻液，其特征在于，所述铜防腐蚀 剂选自苯并三唑类化合物、羟基羧酸和含氮杂环化合物中的一种或多种；所 述苯并三唑类化合物为苯并三唑、4-羧基苯并三唑、5-羧基苯并三唑、5-甲 基苯并三唑和/或5-氯苯并三唑；所述羟基羧酸为柠檬酸、异柠檬酸、酒石 酸和/或苹果酸；所述含氮杂环化合物为腺嘌呤、鸟嘌呤、鸟嘌呤核苷、胞 嘧啶、胸腺嘧啶、尿嘧啶、喹哪啶酸、联吡啶和/或邻二氮杂菲；所述铜防 腐蚀剂优选苯并三唑和/或柠檬酸；所述铜防腐蚀剂占所述钛选择性蚀刻液 总重量的0.01～5％，优选0.05～2％，更优选0.08～1％，最优选0.1％。

9.如权利要求5所述的钛选择性蚀刻液，其特征在于，所述无机碱为 自氨、氢氧化钠和/或氢氧化钾，所述无机碱占所述钛选择性蚀刻液总重量 的0.1～12％，优选0.4～8％，更优选0.5～5％，最优选2％。

10.如权利要求5所述的钛选择性蚀刻液，其特征在于，所述钛螯合液 还含有表面活性剂和/或钛蚀刻液pH调整剂；所述表面活性剂优选非离子表 面活性剂聚氧丙烯聚氧乙烯醚；所述表面活性剂占所述钛选择性蚀刻液总重 量的0.001～1％，优选0.01～0.5％；所述钛选择性蚀刻液pH值为8～9.5，优 选8.5～9.2。