[发明专利]一种防止镜组雾化的曝光装置

权利要求书

1.一种防止镜组雾化的曝光装置，其特征在于，包括容纳有光源(11)和第一反射镜(12)的光学腔室(10)、用于放置基板(1)和光罩(2)的处理腔室(20)、连通所述光学腔室(10)和所述处理腔室(20)的光路腔室(30)以及透光的遮挡层(40)，所述第一反射镜(12)朝向所述基板(1)投射光线，所述遮挡层(40)设置在所述第一反射镜(12)的出射光路上，且位于所述第一反射镜(12)和所述光罩(2)之间，且所述遮挡层(40)的四周背向所述第一反射镜(12)翻折形成一圈翻边。

2.根据权利要求1所述的防止镜组雾化的曝光装置，其特征在于，所述学腔室(10)还包括依次设置的集光镜(13)、第二反射镜(14)、积光器(15)和第三反射镜(16)，所述光源(11)发出的光线依次经过所述集光镜(13)、所述第二反射镜(14)、所述积光器(15)和所述第三反射镜(16)后，自所述第一反射镜(12)反射至所述光罩(2)。

3.根据权利要求2所述的防止镜组雾化的曝光装置，其特征在于，所述第二反射镜(14)和所述第三反射镜(16)分别位于所述光学腔室(10)的光线出口两侧。

4.根据权利要求3所述的防止镜组雾化的曝光装置，其特征在于，所述第三反射镜(16)为弧面反射镜。

5.根据权利要求1所述的防止镜组雾化的曝光装置，其特征在于，所述处理腔室(20)内的气压大于所述光学腔室(10)。

6.根据权利要求1所述的防止镜组雾化的曝光装置，其特征在于，所述遮挡层(40)和所述光罩(2)之间设有真空抽气装置。

7.根据权利要求6所述的防止镜组雾化的曝光装置，其特征在于，所述遮挡层(40)设于所述光学腔室(10)内。

8.根据权利要求1所述的防止镜组雾化的曝光装置，其特征在于，所述遮挡层(40)为玻璃基板。

9.根据权利要求1-8任一所述的防止镜组雾化的曝光装置，其特征在于，所述遮挡层(40)与所述处理腔室(20)内的所述基板(1)平行。