[发明专利]光阻储液罐和光阻涂布机

权利要求书

1.一种光阻储液罐，包括储液罐主体、侦测管、第一液位计和第二液位计，所述储液罐主体具有顶盖和底部；所述侦测管的一端与所述底部相连且与所述储液罐主体贯通；所述第一液位计设置在所述侦测管上靠近所述底部的一端；所述第二液位计设置在所述侦测管上位于所述底部与所述顶盖之间的位置；其特征在于，

所述光阻储液罐还包括储液管，所述储液管设置在所述顶盖上并贯穿所述顶盖，所述储液管包括相对设置的第一端和第二端，所述第一端与所述储液罐主体贯通；所述侦测管的另一端与所述储液管贯通。

2.根据权利要求1所述的光阻储液罐，其特征在于，所述光阻储液罐还包括第三液位计，所述第三液位计设置在所述侦测管上位于所述顶盖与所述第二端之间的位置。

3.根据权利要求1或2所述的光阻储液罐，其特征在于，所述光阻储液罐还包括空气导管和阀门，所述空气导管的一端与所述储液管的所述第二端连通，所述阀门设置在所述空气导管上。

4.根据权利要求3所述的光阻储液罐，其特征在于，所述光阻储液罐还包括导液管，所述导液管设置在所述储液罐主体的所述底部，并与所述储液罐主体连通。

5.一种光阻涂布机，包括光阻储液罐，所述光阻储液罐包括储液罐主体、侦测管、第一液位计和第二液位计，所述储液罐主体具有顶盖和底部；所述侦测管的一端与所述底部相连且与所述储液罐主体贯通；所述第一液位计设置在所述侦测管上靠近所述底部的一端；所述第二液位计设置在所述侦测管上位于所述底部与所述顶盖之间的位置；其特征在于，

所述光阻储液罐还包括储液管，所述储液管设置在所述顶盖上并贯穿所述顶盖，所述储液管包括相对设置的第一端和第二端，所述第一端与所述储液罐主体贯通；所述侦测管的另一端与所述储液管贯通。

6.根据权利要求5所述的光阻涂布机，其特征在于，所述光阻储液罐还包括第三液位计，所述第三液位计设置在所述侦测管上位于所述顶盖与所述第二端之间的位置。

7.根据权利要求5或6所述的光阻涂布机，其特征在于，所述光阻储液罐还包括空气导管和阀门，所述空气导管的一端与所述储液管的所述第二端相连，所述阀门设置在所述空气导管上。

8.根据权利要求7所述的光阻涂布机，其特征在于，所述光阻储液罐还包括导液管，所述导液管设置在所述储液罐主体的所述底部，并与所述储液罐主体连通；所述光阻涂布机还包括喷嘴，所述喷嘴与所述导液管上远离所述底部的一端相连。