[发明专利]光阻储液罐和光阻涂布机

说明书

技术领域

本发明涉及光阻涂布技术领域，尤其涉及一种光阻储液罐及一种具有所述光阻储液罐的光阻涂布机。

背景技术

根据实际生产情况，光阻涂布机需要在基板上涂布不同的光阻。在涂布过程中，光阻涂布机中的光阻储液罐随着喷嘴移动，光阻储液罐内的光阻液面将发生激荡，从而导致部分光阻沉积、残留在光阻储液罐的内壁上。现有技术中的光阻储液罐，在光阻涂布机完成上一批次的光阻涂布后，需要经过多次清洗剂清洗和基板传片测试过程来清除光阻储液罐内壁上残留的光阻。之后，光阻涂布机才可以进行下一批次的光阻涂布。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种光阻储液罐及一种具有所述光阻储液罐的光阻涂布机，仅通过清洗剂清洗过程就能够清除光阻储液罐内壁上残留的光阻。

一种光阻储液罐，包括：储液罐主体、储液管、侦测管、第一液位计和第二液位计，所述储液罐主体具有顶盖和底部；所述储液管设置在所述顶盖上并贯穿所述顶盖，所述储液管包括相对设置的第一端和第二端，所述第一端与所述储液罐主体贯通；所述侦测管的一端与所述底部相连且与所述储液罐主体贯通，所述侦测管的另一端与所述储液管贯通；所述第一液位计设置在所述侦测管上靠近所述底部的一端；所述第二液位计设置在所述侦测管上位于所述底部与所述顶盖之间的位置。

其中，所述光阻储液罐还包括第三液位计，所述第三液位计设置在所述侦测管上位于所述顶盖与所述第二端之间的位置。

其中，所述光阻储液罐还包括空气导管和阀门，所述空气导管的一端与所述储液管的所述第二端连通，所述阀门设置在所述空气导管上。

其中，所述光阻储液罐还包括导液管，所述导液管设置在所述储液罐主体的所述底部，并与所述储液罐主体连通。

一种光阻涂布机，包括光阻储液罐，所述光阻储液罐包括：储液罐主体、储液管、侦测管、第一液位计和第二液位计，所述储液罐主体具有顶盖和底部；所述储液管设置在所述顶盖上并贯穿所述顶盖，所述储液管包括相对设置的第一端和第二端，所述第一端与所述储液罐主体贯通；所述侦测管的一端与所述底部相连且与所述储液罐主体贯通，所述侦测管的另一端与所述储液管贯通；所述第一液位计设置在所述侦测管上靠近所述底部的一端；所述第二液位计设置在所述侦测管上位于所述底部与所述顶盖之间的位置。

其中，所述光阻储液罐还包括第三液位计，所述第三液位计设置在所述侦测管上位于所述顶盖与所述第二端之间的位置。

其中，所述光阻储液罐还包括空气导管和阀门，所述空气导管的一端与所述储液管的所述第二端相连，所述阀门设置在所述空气导管上。

其中，所述光阻储液罐还包括导液管，所述导液管设置在所述储液罐主体的所述底部，并与所述储液罐主体连通；所述光阻涂布机还包括喷嘴，所述喷嘴与所述导液管上远离所述底部的一端相连。

因此，本发明的光阻储液罐及光阻涂布机，通过设置储液管、侦测管，以及安装在所述侦测管上的液位计，在清洁所述光阻储液罐的过程中，所述光阻储液罐主体及所述储液管均中盛装有清洗液，清洗液能够完全覆盖光阻储液罐内壁上光阻溅射的区域。由此仅需清洗液清洗过程就可以完全清除光阻储液罐内壁上残留的光阻而省去了基板传片测试工序，从而简化了工艺，提升了生产效率；减少了光阻消耗，降低了生产成本；同时也提升了涂布质量。

附图说明

为更清楚地阐述本发明的构造特征和功效，下面结合附图与具体实施例来对其进行详细说明。

图1是现有的一种光阻储液罐的结构示意图。

图2是本发明实施例的光阻储液罐的结构示意图。

具体实施例

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都应属于本发明保护的范围。