[发明专利]用于研究介质阻挡放电处理SF6气体的实验系统及实验方法

权利要求书

1.用于研究介质阻挡放电处理SF₆气体的实验系统，其特征在 于：包括配气系统、SF₆气体处理系统、参数检测系统和尾气处理系 统；所述配气系统包括配气仪(1)、气体减压阀I(2)、气体减压 阀II(3)、SF₆气体瓶(4)、背景气体瓶(5)以及鼓泡器(6)；所 述SF₆气体处理系统包括介质阻挡放电反应器(10)、调压器(11)和 等离子体电源(12)；所述参数检测系统包括高压探头(13)、采样电 阻(14)、采样电容(15)、同轴电缆(16)、示波器(17)、准直镜(18)、 光纤(19)、光纤光谱仪(20)、计算机(21)、气相色谱仪(25)和 单刀双掷开关(43)；所述尾气处理系统包括数显压力真空表(29)、 真空泵(30)和碱水吸收池(32)；

所述配气仪(1)的进气口1通过气体软管与SF₆气体瓶(4)出 气口导通，所述SF₆气体瓶(4)的出气口上连接气体减压阀I(2)； 所述气体减压阀I(2)调节控制一定压力的气体通过气体软管输入到 配气仪(1)中；所述配气仪(1)的进气口2通过气体软管与背景气 体瓶(5)出气口导通，所述背景气体瓶(5)出气口上连接气体减压 阀II(3)；所述配气仪(1)的出气口通过气体软管连接至鼓泡器(6) 液体内，所述鼓泡器(6)出口处通过气体软管与球形阀I(7)的进 气口导通；所需的气体的浓度及气体流量都是由所述配气仪(1)的 来调节；

所述SF₆气体处理系统中调压器(11)的电源输出端通过导线与 等离子体电源(12)的电源输入端连接，所述等离子体电源(12)的 电源输出端通过导线与介质阻挡放电反应器(10)的内电极接线柱 (41)连接；所述介质阻挡放电反应器(10)为同轴圆柱式反应器， 进气口(8)通过气体软管与球形阀I(7)的出气口导通，出气口(9) 通过气体软管与球形阀II(22)的进气口导通；

所述球形阀II(22)的出气口通过气体软管与三通I(23)的A 气口导通，所述三通I(23)的B气口通过气体软管与三通II(26) 的A气口导通；所述三通II(26)的B气口通过气体软管与手动阀 门III(31)的进气口导通，所述手动阀门III(31)的出气口通过气 体软管连通至碱水吸收池(32)内；所述三通II(26)的C气口通过 气体软管与手动阀门II(27)的进气口导通，所述手动阀门II(27) 出气口通过气体软管与三通III(28)的A气口连通；所述三通III(28) 的B气口通过气体软管与所述真空泵(30)进气口导通，C气口通过 气体软管与所述数显压力真空表(29)的气口导通；

所述三通I(23)的C气口通过气体软管与手动阀门I(24)的 进气口导通，所述手动阀门I(24)的出气口通过气体软管与所述气 相色谱仪(25)的气口导通；

所述介质阻挡放电反应器(10)的外电极(34)与带有BNC接头 的单刀双掷开关(43)连接；所述单刀双掷开关(43)拨至A端时， 与所述采样电阻(14)连接后接地；拨至B端时，与所述采样电容(15) 连接后接地；单刀双掷开关(43)的BNC接头通过同轴电缆I(16-1) 与所述示波器(17)的信号输入端A连接；所述示波器(17)的信号 输入端B通过同轴电缆II(16-2)与所述高压探头(13)的输出端 连接，所述高压探头(13)的输入端通过导线与所述等离子体电源(12) 的电源输出端连接；

所述准直镜(18)平行于所述介质阻挡放电反应器(10)的长轴 放置在中部位置，准直镜(18)的另一侧与带有SMA905接头的光纤 (19)连接，准直镜(18)用来收集等离子体发射的光，并将光汇聚 到光纤(19)中；所述光纤(19)的另一端通过SMA905接头连接至 所述光纤光谱仪(20)的输入端，光纤(19)将准直镜(18)汇聚的 光传输到光纤光谱仪(20)中进行处理；所述光纤光谱仪(20)的数 据输出端通过配套数据线与所述计算机(21)的数据输入端连接，经 光纤光谱仪处理后的光谱图在计算机(21)分析并显示。