[发明专利]半导体装置及其制造方法

说明书

本发明涉及半导体装置及其制造方法，其目的在于提供具有电特性及可靠性高的薄膜晶体管的半导体装置及量产性高地制造该半导体装置的方法。本发明的要旨在于：包括作为半导体层使用含有铟(In)、镓(Ga)及锌(Zn)的氧化物半导体膜，并且在半导体层与源电极层和漏电极层之间设置有由金属氧化物层构成的缓冲层的反交错型(底栅结构)的薄膜晶体管。通过在源电极层和漏电极层与半导体层之间意图性地设置金属氧化物层作为缓冲层来形成欧姆接触。

本申请是申请日为“2009年7月30日”、申请号为“200910160554.7”、题为“半导体装置及其制造方法”的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种具有由将氧化物半导体膜用于沟道形成区域的薄膜晶体管(以下,称为TFT)构成的电路的半导体装置及其制造方法。例如，本发明涉及将以液晶显示面板为代表的电光装置及具有有机发光元件的发光显示装置作为部件而安装的电子设备。

另外，在本说明书中的半导体装置是指通过利用半导体特性而能够工作的所有装置，因此电光装置、半导体电路以及电子设备都是半导体装置。

背景技术

近年来，对在配置为矩阵状的每个显示像素中设置由TFT构成的开关元件的有源矩阵型显示装置(液晶显示装置、发光显示装置、电泳式显示装置)正在积极地进行研究开发。由于有源矩阵型显示装置在各个像素(或每个点)中设置开关元件，与单纯矩阵方式相比，在增加像素密度的情况下能够以低电压进行驱动而具有优势。

另外，将氧化物半导体膜用于沟道形成区域来形成薄膜晶体管(TFT)等，并将其应用于电子装置或光装置的技术受到关注。例如，可以举出将氧化锌(ZnO)用作氧化物半导体膜的TFT、或使用InGaO₃(ZnO)_m的TFT。在专利文献1和专利文献2中公开有如下技术：将使用这些氧化物半导体膜的TFT形成在具有透光性的衬底上，并将其应用于图像显示装置的开关元件等。

[专利文献1]日本专利申请公开2007-123861号公报

[专利文献2]日本专利申请公开2007-96055号公报

对将氧化物半导体膜用于沟道形成区域的薄膜晶体管要求工作速度快、制造工序相对简单，并且具有充分的可靠性。

在形成薄膜晶体管时，作为源电极和漏电极使用低电阻的金属材料。尤其是，在制造进行大面积显示的显示装置时，起因于布线电阻的信号迟延问题较为明显。所以，优选使用电阻值低的金属材料作为布线或电极的材料。当采用由电阻值低的金属材料构成的源电极和漏电极与氧化物半导体膜直接接触的薄膜晶体管的结构时，有可能导致接触电阻增大。可以认为以下原因是导致接触电阻增大的要因之一：在源电极和漏电极与氧化物半导体膜的接触面上形成肖特基结。

再加上，在源电极和漏电极与氧化物半导体膜直接接触的部分中形成电容，并且频率特性(称为f特性)降低，有可能妨碍薄膜晶体管的高速工作。

发明内容

本发明的一个方式的目的之一在于提供一种在使用含有铟(In)、镓(Ga)、及锌(Zn)的氧化物半导体膜的薄膜晶体管中，减少了源电极或漏电极的接触电阻的薄膜晶体管及其制造方法。

此外，本发明的一个方式的目的之一还在于提高使用含有In、Ga及Zn的氧化物半导体膜的薄膜晶体管的工作特性或可靠性。

另外，本发明的一个方式的目的之一还在于降低使用含有In、Ga及Zn的氧化物半导体膜的薄膜晶体管的电特性的不均匀性。尤其是，在液晶显示装置中，各元件间的不均匀性较大的情况下，有可能发生起因于该TFT特性的不均匀性的显示不均匀。

此外，在包括发光元件的显示装置中，当以向像素电极流过一定的电流的方式设置的TFT(配置在驱动电路的TFT或向像素中的发光元件供给电流的TFT)的导通电流(I_on)的不均匀性较大时，有可能引起在显示画面中的亮度的不均匀。